TC-20 TC-Wafer校準(zhǔn)儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 TC-20
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/5/31 11:35:02
- 訪問次數(shù) 456
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
TC-Wafer校準(zhǔn)儀，是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器。
適配市場上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設(shè)備。
特殊情況可定制以適配。
產(chǎn)品特點（部分）
1.測溫準(zhǔn)確 溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準(zhǔn)確測量晶圓溫廠均勻性；
2.使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數(shù) 據(jù)，并能自動生成測試報告，
支持U盤、藍牙、無線網(wǎng) 絡(luò)等多種方式導(dǎo)出數(shù)據(jù)和報告；
3.顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制)，顯示實時點位圖及溫度分布圖，
可在使用過程中實時觀察各點溫度變化；
4.功能強大 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。
可做同一臺設(shè)備不同時間段、以及不同設(shè)備同一配方的數(shù)據(jù)對比；
5.便攜易維護 便攜一體化設(shè)計，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更換TC- wafer。
TC-Wafer校準(zhǔn)儀應(yīng)用功能：
1.半導(dǎo)體制造工藝調(diào)校
2.RTP設(shè)備的測試、驗證
3.TC-Wafer的測試、驗證
4.相 關(guān) 晶 圓 熱 處 理 設(shè) 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
5.使用范圍：室溫~ 1200℃(更高溫可定制)
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