日本tokyokeiso超聲波流量計檢測器控制閥 CLFC300系列 特點介紹

CLFC300系列是集成了超聲波流量計檢測器、控制閥以及進行流量計算和閥門控制的電路的流量控制器。

配備可速追隨目標(biāo)流量的控制功能，適用于半導(dǎo)體設(shè)備所需的各種液體的控制，如化學(xué)液體的定量供給、DIW的流量控制、漿料流體的定值控制、等等。

日本tokyokeiso超聲波流量計檢測器控制閥 CLFC300系列 規(guī)格參數(shù)

· 改進的可控性

我們改進了常規(guī)的計算處理，進一步提高了抗氣泡性。

流量測量的穩(wěn)定性也得到了提高。

· 改進的可控性

在階躍響應(yīng)性能方面，我們利用最新的運算電路實現(xiàn)了極快的響應(yīng)，實現(xiàn)了1.5秒內(nèi)達到設(shè)定值的控制速度。

· 兩種閥門類型可供選擇

我們有用于化學(xué)液體和 DIW 的針閥，以及用于漿料流體的夾管閥。

我們在夾管類型中新添加了 STA-PURE 型 PC 管。

StaPure 管非常耐用，無需更換管，而以前需要定期更換。

· 更小更輕

超聲波流量計檢測器、控制閥和電路裝在一個小外殼內(nèi)，安裝在設(shè)備內(nèi)部時節(jié)省空間。

結(jié)構(gòu)經(jīng)過重新設(shè)計，使傳統(tǒng)產(chǎn)品更加緊湊。（減少 20%）

由于小型化，重量也減輕了。（下降 35%）

· 減少布線和管道

安裝時，只需連接流體進出口接頭并使用多芯電纜進行電氣接線即可，無需復(fù)雜的配管和接線。

· 環(huán)保

減少電流消耗。（實際值減少 35%）

由符合 RoHS 的部件構(gòu)成。

· 高耐腐蝕性

接液部件采用 PFA 和 PTFE 等高耐腐蝕性材料，可用于半導(dǎo)體行業(yè)和處理化學(xué)品的各種行業(yè)。

表殼材質(zhì)也采用PVDF。