TMC主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)STACIS IIIc

STACIS IIIc是STACIS III高級(jí)主動(dòng)隔振系統(tǒng)的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常適合在沒(méi)有或地板很低的活動(dòng)地板上使用，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)STACIS III系統(tǒng)的高度會(huì)使儀器過(guò)高。

在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規(guī)STACIS III高度的60％。在具有3個(gè)以上隔離器的系統(tǒng)中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負(fù)載設(shè)置。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參見(jiàn)下面的規(guī)格。

TMC主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)STACIS IIIc的優(yōu)勢(shì)

與常規(guī)STACIS III系統(tǒng)相比，隔離器高度最多降低42％，而性能卻沒(méi)有降低。

STACIS比空氣隔振器堅(jiān)固數(shù)百倍，沒(méi)有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒(méi)有“軟”懸架，與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個(gè)系統(tǒng)都在最佳狀態(tài)下運(yùn)行。

*特的串行設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的高力壓電技術(shù)
可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的*越主動(dòng)隔振性能。

性能

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C

(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

規(guī)格

隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

DC-2020控制器規(guī)格

STACIS用戶(hù)及應(yīng)用領(lǐng)域

1、微電子、半導(dǎo)體

●晶片檢測(cè)

●顯微光刻技術(shù)

●掩膜校準(zhǔn)

2、科學(xué)研究、納米技術(shù)

●SEM、TEM

●STEM、SPM

3、激光臺(tái)

●生命科學(xué)、藥物研發(fā)

4、工業(yè)應(yīng)用

●精密加工

為什么要選擇主動(dòng)系統(tǒng)？

●從<1Hz開(kāi)始強(qiáng)烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺(tái)在這一低頻處無(wú)法起到有效的隔振

●提高質(zhì)量、生產(chǎn)量

●更加細(xì)小特色的成像能力

●前沿研究

●比氣動(dòng)平臺(tái)更穩(wěn)定

●滿(mǎn)足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的*一解決方案

●使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低

主動(dòng)系統(tǒng)為何選擇STACIS

●正中了科研者的的心聲，提供了盡可能*美的無(wú)震環(huán)境。

●市場(chǎng)上*美強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。

●目前所有的SEM廠(chǎng)商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動(dòng)參數(shù)需要主動(dòng)隔振系統(tǒng)才能滿(mǎn)足。

●STACIS*次發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開(kāi)發(fā)和安裝了數(shù)以千計(jì)的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍

穩(wěn)定時(shí)間作為對(duì)擾動(dòng)的響應(yīng)，由于*特的串聯(lián)式設(shè)計(jì)，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動(dòng)態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨(dú)立剛性臺(tái)面的情況下。

如下優(yōu)勢(shì)在業(yè)內(nèi)都是*與倫比的

●STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

●6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB

●從2-3Hz時(shí)，隔振可達(dá)90% (20dB)

專(zhuān)業(yè)的環(huán)境調(diào)查

1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波

2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證

●完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)

●開(kāi)具專(zhuān)業(yè)環(huán)境報(bào)告

●提供震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波檢測(cè)及解決方案

●TMC基于其廣泛經(jīng)驗(yàn)向用戶(hù)推薦實(shí)用性方案

●40多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，業(yè)內(nèi)的*導(dǎo)者

應(yīng)用照片