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R2P紫外固化納米壓印機(jī)

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納米壓印紫外固化

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昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導(dǎo)體企業(yè)。

昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應(yīng)測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(jī)(Die Bonder),劃片機(jī)(Scriber),球焊機(jī)/鍥焊機(jī)(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE),ICP刻蝕機(jī),等離子體刻蝕機(jī);

- 致冷機(jī)/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機(jī)

HoloPrinter UNI A6 DT是一款易于使用的桌面設(shè)備,適用于實驗室的NIL工作。

典型應(yīng)用包括:壓印功能結(jié)構(gòu),如芯片實驗室,衍射光學(xué)元件和其他類型的納米壓印結(jié)構(gòu)。.

 

HoloPrinter還允許用戶對光固化樹脂和壓印材料進(jìn)行測試和表征。

它配備了光學(xué)固化模塊和簡易安裝的壓印模板。
您可使用熱壓印聚合物,PDMS,HPDMS制作模板,或從我司的易用消耗品和樹脂庫中進(jìn)行選擇材料。

 

產(chǎn)品規(guī)格:

支持壓印尺寸:            105 x 148 mm(寬x長),基材厚度可達(dá)8mm

典型復(fù)制速度:            每小時60次重復(fù),包括手動模式(平板移動速度可達(dá)8米/分鐘)
兩個      輸出:        Roll to Plate(R2P)和 Roll to Foil(R2F)
樹脂耗材/材料:          工業(yè)上認(rèn)可的Workhorse 3D壓印樹脂“X29”適用于A6型號
光固化發(fā)動機(jī):            耐用 395nm LED(被動冷卻),速度高達(dá)200mJ / cm2,速度為6m / min
電            源 :         220V / 110V
尺寸 和  重量:          670 x 380 x 320 mm(長x寬x高),26千克/ 57磅

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