日本 Toho FLX-2320系列薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 北京中科復(fù)華科技有限公司
品牌 其他品牌
型號(hào) 日本 Toho FLX-2320系列
產(chǎn)地日本
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2024/4/3 8:03:24
訪問(wèn)次數(shù) 398

產(chǎn)品標(biāo)簽

薄膜應(yīng)力測(cè)試薄膜測(cè)量

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國(guó)各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。　　未來(lái)公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時(shí)也與全國(guó)各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場(chǎng)前景的科研成果推向市場(chǎng)。愿與中、外同仁廣泛合作，為中國(guó)的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)?！?/span>

展開(kāi)

納米圖形發(fā)生器，離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機(jī)、去膠設(shè)備等

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技術(shù)參數(shù)：

Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力計(jì)精確測(cè)量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。

主要特點(diǎn)：

       ◆雙光源掃描（可見(jiàn)光激光源及不可見(jiàn)光激光源），系統(tǒng)可自動(dòng)選擇適合的匹配之激光源；
       ◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測(cè)不同溫度下薄膜的應(yīng)力，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃；
       ◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫(kù)，便于新材料研究；
       ◆形象的軟件分析功能，用于不同測(cè)量記錄之間的比較，且測(cè)量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔；
       ◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。

用戶界面：

WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫(kù)。自動(dòng)保存測(cè)量數(shù)據(jù)等方便性能。

每個(gè)用戶可分別設(shè)定訪問(wèn)權(quán)限。使用自帶軟件實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單卻性能高，簡(jiǎn)單測(cè)量