專業(yè)的研究級傅立葉變換紅外光譜儀（氧碳分析儀），其創(chuàng)新技術和智能精巧的設計為新一代傅立葉變換紅外光譜儀樹立了標準。

傅立葉紅外技術可以快速、靈敏、無損地分析硅材料中的碳、氧含量，因此它在硅材料質量控制領域被廣泛接收和應用。

l 根據ASTM/SEMI MF1391標準，建立了室溫硅中代位碳原子含量分析方法。

l 根據ASTM/SEMI MF1188標準，建立了室溫硅中間隙氧含量分析方法。

l 可達檢出限：＜400ppba

l 建議的樣品特征：厚度0.5-2.5mm（平均約1.5mm），雙面拋光，單晶或多晶型。

產品特點：

l  可選的平板電腦觸控操作界面，有助于實現(xiàn)簡單的工作流程

l  創(chuàng)新型MultiTect檢測器技術，支持多達5個室溫檢測器

l  Transit測量通道，滿足中紅外透射快檢需求

l  RockSolid準直干涉儀，讓您能夠輕松地更換分束器

l  FM技術，實現(xiàn) 6000 cm-1 到 80 cm-1中遠紅外譜區(qū)的一次性測量

l  可實現(xiàn)近紅外、遠紅外和紫外/可見光光譜范圍的輕松升級

l  3個輸出與2個輸入光束端口，可通過軟件進行選擇。若需要，還可提供第四個輸出端

l  兼容VERTEX譜儀的所有附件外部模塊