產(chǎn)品名稱：mirrorcle technologies反射鏡MEMS

產(chǎn)品型號(hào)：MEMS

產(chǎn)品介紹：

掃描雙軸（傾斜）MEMS反射鏡（或“微反射鏡”）是一種光束控制（或2D光學(xué)掃描）技術(shù)，在許多行業(yè)中使用。與競爭產(chǎn)品相比，Mirrorcle Technologies股份有限公司tip-timeMEMS反射鏡有幾個(gè)主要優(yōu)勢。基于ARI-MEMS制造技術(shù)的無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設(shè)備起初是通過位于加利福尼亞州伯克利的亞得里亞海研究所（“ARI”）基于ARI-MEM制造技術(shù)的研究項(xiàng)目開發(fā)的，無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設(shè)備在超低功率環(huán)境中運(yùn)行，并在兩軸上提供非?？焖俚墓馐鴴呙?。該設(shè)備使激光束在兩個(gè)軸上高速偏轉(zhuǎn)至高達(dá)32°的光學(xué)掃描角。與現(xiàn)有的大型電流計(jì)光學(xué)掃描儀相比，我們的設(shè)備所需的驅(qū)動(dòng)功率要低幾個(gè)數(shù)量級(jí)。我們的靜電執(zhí)行器的連續(xù)全速操作消耗的功率不到幾毫瓦。

MirrorcleTech器件由單晶硅制成，具有好的可重復(fù)性和可靠性。光學(xué)平面和光滑的反射鏡上涂有一層具有所需反射率的薄膜。更大的反射鏡可以結(jié)合到致動(dòng)器上，用于定制孔徑尺寸。直徑從0.8毫米到7.5毫米的鏡子目前有庫存。高達(dá)9.0mm的尺寸在特殊應(yīng)用中得到了成功證明。

MirrorcleTech的MEMS微鏡技術(shù)用途廣泛，適用于各種應(yīng)用。一些器件采用某種通用的準(zhǔn)靜態(tài)（點(diǎn)對點(diǎn)）性能規(guī)范制造。其他設(shè)備是高度可定制的，以實(shí)現(xiàn)特定的規(guī)格集，例如投影顯示器。雖然以下描述主要涉及雙軸裝置，但也有多個(gè)單軸設(shè)計(jì)可用，包括點(diǎn)對點(diǎn)（準(zhǔn)靜態(tài)）和諧振型。

Mirrorcle Technologies MEMS器件解決了需要光束控制的廣泛應(yīng)用。隨著光學(xué)掃描或光束轉(zhuǎn)向出現(xiàn)在各種行業(yè)和眾多應(yīng)用中，我們的掃描鏡在那些需要微型、高速、低功耗或低成本解決方案的應(yīng)用中most為有利。

性能特點(diǎn)：

• 無萬向節(jié)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)超高速雙軸激光束轉(zhuǎn)向

• 點(diǎn)對點(diǎn)（準(zhǔn)靜態(tài)）或諧振操作模式下的大角度

技術(shù)參數(shù)：

• MEMS反射鏡：A7M10.2-1000AL

• 帶寬：在基于LPF的驅(qū)動(dòng)中為~2200Hz

• FoR：約34°x 34°關(guān)注范圍

• 波長：單個(gè)激光二極管光源：綠色（~520nm），<30mW CW功率

• 發(fā)散度（半角，平均值）：<2.5mrad

• 重復(fù)性：每個(gè)軸<0.005°

• MEMS接口：10針0.05“Samtec連接器，與所有MirrorcleMEMS控制器匹配

• 鏡子尺寸：從0.6毫米到7.5毫米不等

• 激光接口：

共享10針MEMS接口連接器

需要與掃描模塊配對的Mirrorcle MEMS控制器，以匹配激光二極管（LD）特性

• 產(chǎn)地：美國

產(chǎn)品應(yīng)用：

• 投影顯示器

• 3D掃描

• 激光雷達(dá)成像

• 3D跟蹤和位置測量

• 激光打標(biāo)和雕刻

• 自由空間光學(xué)與電信

• 生物醫(yī)學(xué)成像