Cchip-0019 高深寬比紫外光刻機
- 公司名稱 蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 Cchip-0019
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/1/31 13:31:03
- 訪問次數(shù) 100
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產(chǎn)品名稱:高深寬比紫外光刻機(曝光機)
產(chǎn)品型號:Cchip-0019
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高深寬比紫外光刻機簡介:
微流控芯片的設(shè)計結(jié)構(gòu)一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點,中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機。該設(shè)備采用目前LED光源,紫外波長365nm,光源純度高,輻射能量均一可調(diào)。設(shè)備配有智能化觸摸屏操作面板,外觀比較傳統(tǒng)光刻機體積更小,集成化度更高,不僅簡化了操作流程,還進(jìn)一步提高了工藝效率。
不僅如此,我們還對曝光系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化,將曝光過程中衍射誤差降到極限,保證圖案設(shè)計值與實際值一致,從而為芯片制作保駕護(hù)航。
以下是客戶實測圖片,結(jié)構(gòu)高度92um,間距20um,請參考!
中芯啟恒提供一站式微流控解決方案:
(1)PDMS/玻璃/PMMA等各種材質(zhì)微流控芯片加工設(shè)備、耗材、試劑、配件等服務(wù)。
(2)提供微流控芯片光刻實驗室、微流控芯片軟注塑實驗室、微流控芯片封合實驗室、微流控實驗系統(tǒng)平臺組建服務(wù)。
(3)公司提供微流控芯片加工技術(shù)培訓(xùn)和微流控芯片使用技術(shù)培訓(xùn)。