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Cchip-0019 高深寬比紫外光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

實驗室儀器光刻機曝光機

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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司

Suzhou Cchip Scientific Instrument CO.,Ltd.

 

蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司致力于微流控芯片加工工藝及設(shè)備的研究,為促進(jìn)我國微流控技術(shù)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。公司擁有多位微流控技術(shù)從業(yè)者,有近20多年的技術(shù)積累和專業(yè)經(jīng)驗,創(chuàng)新性的開發(fā)了四套微流控芯片加工工藝線,既PDMS微流控芯片加工工藝、玻璃微流控芯片加工工藝、PMMA微流控芯片加工工藝、低成本小線寬塑料芯片批量壓印工藝?;谖⒘骺匦酒庸し?wù),公司與國內(nèi)眾多高校、研究所、醫(yī)院及醫(yī)療檢測公司,建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。

 

中芯啟恒提供專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的微流控整體解決方案。

我們專注于以下四項工作:


1)微流控芯片實驗室整體組建

公司深耕微流控芯片代工多年,自主開發(fā)光刻機、熱壓機、對準(zhǔn)儀、膜厚測量儀、水平臺等實驗室組建設(shè)備。也為加工工藝的優(yōu)化,選型更適合的SU8光刻膠、PDMS等試劑耗材。

3ODM/OEM客戶委托設(shè)備研發(fā)制造

微液滴制備系統(tǒng)、數(shù)字液滴DMF芯片平臺、自動微滴生成儀、微混合脂質(zhì)體LNP制備系統(tǒng)、精密壓力控制器、流量傳感器、壓力傳感器、等多套設(shè)備的選型、研發(fā)和調(diào)試。

 

2)微流控芯片設(shè)計和加工

提供PDMS、玻璃、PMMACOC塑料等材質(zhì)的芯片加工,提供標(biāo)準(zhǔn)的液滴芯片、LNP合成芯片、空間轉(zhuǎn)錄芯片、器官芯片、3D共軸毛細(xì)管液滴芯片、各種材質(zhì)模具加工及芯片夾具定制等相關(guān)技術(shù)服務(wù)。

4)實驗方案外包服務(wù)

為客戶提供barcode水凝膠微球制備、單細(xì)胞包裹、LNP脂質(zhì)體制備、mRNA 疫苗包封、器官芯片和類器官培養(yǎng)等實驗外包服務(wù),并為實驗流程優(yōu)化、工業(yè)級放大生產(chǎn)提供技術(shù)咨詢服務(wù)。


注射泵、光刻膠、芯片、顯影液等

產(chǎn)品名稱:高深寬比紫外光刻機(曝光機)

產(chǎn)品型號:Cchip-0019

資料下載:下載用戶手冊

高深寬比紫外光刻機簡介:

微流控芯片的設(shè)計結(jié)構(gòu)一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點,中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機。該設(shè)備采用目前LED光源,紫外波長365nm光源純度高,輻射能量均一可調(diào)。設(shè)備配有智能化觸摸屏操作面板外觀比較傳統(tǒng)光刻機體積更小,集成化度高,不僅簡化操作流程,還進(jìn)一步提高工藝效率。

不僅如此,我們對曝光系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化,將曝光過程中衍射誤差降到極限,保證圖案設(shè)計值與實際值一致,從而為芯片制作保駕護(hù)航。

以下是客戶實測圖片,結(jié)構(gòu)高度92um,間距20um,請參考!


中芯啟恒提供一站式微流控解決方案

(1)PDMS/玻璃/PMMA等各種材質(zhì)微流控芯片加工設(shè)備、耗材、試劑、配件等服務(wù)。

(2)提供微流控芯片光刻實驗室、微流控芯片軟注塑實驗室、微流控芯片封合實驗室、微流控實驗系統(tǒng)平臺組建服務(wù)。

(3)公司提供微流控芯片加工技術(shù)培訓(xùn)和微流控芯片使用技術(shù)培訓(xùn)。


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