Senis 3軸霍爾磁傳感器芯片 SENM3Dx

昊量光電全新推出的Senis 3軸霍爾磁傳感器芯片 SENM3Dx是一種 cmos 磁場(chǎng)傳感器，可在同一時(shí)間和同一地點(diǎn)采集所有三個(gè)磁場(chǎng)分量（Bx、By 和 Bz）。該傳感器集成了三組相互正交的霍爾效應(yīng)元件（一組水平元件和兩組垂直元件），每組元件都配有偏置電路和放大器。集成霍爾元件非常緊湊，占地面積小，約為 100 x 100 μm2。因此，傳感器的空間分辨率非常高。

所采用的 CMOS 技術(shù)實(shí)現(xiàn)了垂直和水平霍爾元件的高精度制造，從而使三個(gè)測(cè)量軸具有較高的角度精度（正交性）。在霍爾元件偏壓中應(yīng)用旋轉(zhuǎn)電流技術(shù)，可顯著抑制偏移、低頻噪聲和平面霍爾效應(yīng)。 傳感器提供從直流到 300kHz 的高模擬帶寬。內(nèi)置的溫度傳感器可以測(cè)量場(chǎng)敏感區(qū)域的當(dāng)前芯片溫度。

Senis 3 軸霍爾磁傳感器芯片 SENM3Dx參數(shù)規(guī)格：

• 可選擇主動(dòng)靈敏度軸 1D、2D 或 3D

• 高磁分辨率：1uT

• 高空間分辨率：100um x 100um for 3軸

• 六種可選范圍：從 40mT 到 4T

• 高頻帶寬，DC 至 300kHz

• 內(nèi)置高分辨率溫度傳感器

• 靈敏度、失調(diào)、噪聲和漂移的片內(nèi)校正

• 片上參數(shù)化

• 模擬、PWM 和 SPI 數(shù)字輸出

• 可編程閾值比較器

Senis 3 軸霍爾磁傳感器芯片 SENM3Dx應(yīng)用領(lǐng)域：

• 3D定位傳感器（線性和角度）

• 1D、2D 和 3D 接近傳感器

• 磁力計(jì)測(cè)量探頭

• 多探頭陣列

• 具有可選量程的電流傳感器

選件

SENIS 3軸霍爾磁傳感器芯片評(píng)估套

SENIS 3軸霍爾磁傳感器芯片評(píng)估套設(shè)計(jì)用于評(píng)估真正的三軸磁場(chǎng)傳感器，該傳感器是 CMOS 集成器件，可在 100 x 100 x 10 µm3 的場(chǎng)敏感體積 (FSV) 中矢量測(cè)量三個(gè)磁通分量 Bx、By 和 Bz（圖 1）。FSV 低于芯片封裝表面約 0.75 mm。

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