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3D 粗糙度重建系統(tǒng)

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掃描電鏡粗糙度重建

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復納科學儀器(上海)有限公司(簡稱“復納科技”)于 2012 年在上海成立,聚焦荷蘭飛納臺式掃描電鏡在中國市場的推廣和應用,涵蓋領域包括材料、鋰電新能源、半導體、生命科學和法醫(yī)檢測等。

截止目前,復納科技服務超過 2000 家飛納電鏡客戶和 100 家相關產(chǎn)品客戶,包括:清華大學、北京大學、復旦大學、上海交通大學、華南理工大學和中科院系統(tǒng)等高??蒲袉挝唬话退狗?、寧德時代、微軟、默克和出入境檢驗局等企事業(yè)單位。

2017 年開始,復納科技陸續(xù)與 7 家行業(yè)品牌建立了長期合作,致力于為中國高校、研究所、企業(yè)和政府用戶提供先進可靠、高效智能的科學分析儀器、優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務和基于核心技術的解決方案。目前已引進先進的:DENSsolutions TEM原位樣品桿,飛納臺式掃描電鏡,NEOSCAN臺式高分辨顯微 CT,F(xiàn)orgeNano原子層沉積、 Technoorg Linda SEM/TEM樣品制備和VSParticle 納米氣溶膠沉積等設備。

十年以來,復納科技賦能中國科研創(chuàng)新、工業(yè)升級,人工智能檢測的使命也越來越清晰。

 

 

 

 

臺式掃描電鏡,SEM / TEM 樣品制備,ALD 原子層沉積,TEM 原位樣品桿,X 射線顯微 CT

借助 3D 粗糙度重建系統(tǒng),飛納臺式掃描電鏡(SEM)可以生成樣品的三維圖像,并進行亞微米量級的粗糙度測量。基于“陰影顯形”技術,3D 成像有助于展示樣品特征。

3D

3D 圖像可以幫助用戶更好地理解樣品特點,使得在 2D 圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征,變得清晰可見。 

粗糙度 

平均粗糙度(Ra)及粗糙高度(Rz)的測量對于生產(chǎn)工藝的控制和改進具有重要意義。使用 SEM 圖像作為信息收集手段,可以獲得比傳統(tǒng)(非直接)手段更佳的分辨率。3D 粗糙度重建模塊是飛納臺式掃描電鏡的理想擴展,特別適用于下列領域: 

• 機械加工的質(zhì)量控制 

• 紋理分析 

• 證物鑒定 

• 缺陷 & 失效分析 

• 摩擦學-磨損分析

3D 粗糙度重建系統(tǒng)可在包含多個飛納臺式掃描電鏡(SEM)特定應用程序的 Phenom ProSuite 中獲得。 

3D 粗糙度重建系統(tǒng)的主要優(yōu)點:

 • 遠優(yōu)于光學或機械測量手段 

    - 高分辨率

    - 可測量反光樣品 

    - 直接測量

    - 非破壞性 

• 創(chuàng)新性全自動用戶界面 

• 基于“陰影顯形”,無需傾斜樣品 

• 完整解決方案 

• 快速重建

• 直觀的用戶界面



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