自動滴膠、甩膠、勻膠
供膠系統(tǒng)
排風(fēng)系統(tǒng)
可配EBR&BSR功能
適用用圓片尺寸: 2”、3”、4”;以及5x5,10x10,25x25方片
工藝工步:放置圓片(可輔助定中心) 啟動 防濺罩到上位 真空吸片 防塵帽閉合 電機啟動 吹氮氣 低速滴膠 加速、高速勻膠 上刮邊 下刮邊
電機停止 防塵帽開啟 防濺帽到下位 去真空、卸片(工藝結(jié)束)以上各工步流程為自動執(zhí)行,其中防塵帽、防濺帽、真空具有手動功能;
主軸徑向跳動≤0.02mm,軸向竄動≤0.04mm;
主軸轉(zhuǎn)速:200~7000轉(zhuǎn)/分,誤差±20轉(zhuǎn)/分,連續(xù)可調(diào);
主軸加速度(空載):0~3×103rad/秒2,連續(xù)可調(diào);
工藝工步時間:0~999.9秒,設(shè)定增量±0.1秒;
滴膠量和速度可調(diào);