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成都真空設(shè)備廠家 桌面真空鍍膜機(jī) 可定制

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 成都漢普升科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2023/11/18 13:14:15
  • 訪問(wèn)次數(shù) 75
產(chǎn)品標(biāo)簽

桌面真空鍍膜機(jī)

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成都漢普升科技有限公司,成立于2015年11月16日,致力于電真空、核級(jí)裝備、人工晶體材料及薄膜制備設(shè)備的技術(shù)提升,在服務(wù)領(lǐng)域深耕細(xì)作,具有較深的技術(shù)沉積。
公司成立以來(lái),在自己所擅長(zhǎng)領(lǐng)域?yàn)榭蛻?hù)提供優(yōu)良的產(chǎn)品和技術(shù)解決方案,公司注重產(chǎn)品和運(yùn)營(yíng)模式創(chuàng)新,我們堅(jiān)信:唯有創(chuàng)新方能給用戶(hù)增值,公司已與多家科研院所、高等院校及企事業(yè)單位進(jìn)行橫向合作,形成了科研級(jí)、工業(yè)級(jí)產(chǎn)品體系,已為客戶(hù)設(shè)計(jì)制造了多套專(zhuān)用設(shè)備和儀器,獲得了用戶(hù)廣泛贊譽(yù)。

光學(xué)器件,光電設(shè)備,電子設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

 

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1. 主體:全封閉框架結(jié)構(gòu),真空室為前開(kāi)門(mén)方式,機(jī)柜和主機(jī)為一體式機(jī)構(gòu)。采用優(yōu)質(zhì)0Cr18Ni9不銹鋼材料(SUS304),箱體尺寸為不小于φ350X400mm。設(shè)置DN100觀察窗口,位于真空腔體門(mén)正前方,骨架默認(rèn)白色(或鋁合金本色),門(mén)板為白色,四只腳輪,可固定,可移動(dòng)。室體、真空機(jī)組、磁控靶等有斷水報(bào)警鎖定安全裝置,能夠防止停水后出現(xiàn)安全隱患。

2. 真空系統(tǒng):

2.1極限真空度:≤6.63×10-4Pa(空載、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮?dú)猓?/p>

2.2真空配置:高速直聯(lián)旋片泵一臺(tái),抽速大于6L/S,超高分子泵一臺(tái),抽速600L/s。

2.3真空測(cè)量:兩路電阻規(guī),一路電離規(guī);對(duì)真空室和真空管道分別精確監(jiān)控,帶數(shù)據(jù)通訊。

3. 工件架系統(tǒng):?jiǎn)喂の?英寸工件盤(pán),工件盤(pán)可加熱至500攝氏度,工件架真空室底部安裝,便于更換基片,轉(zhuǎn)速3~30rpm。

4. 照明裝置:照明裝置1套。

5. 磁控濺射系統(tǒng):配置2-3個(gè)Φ50mm磁控靶,安裝于真空室頂部,向下濺射成膜。

6.充氣系統(tǒng):二路分別配置質(zhì)量流量控制器,分別為0-100SCCM 1只,0-200SCCM1只,準(zhǔn)確度±1% F.S,線性±0.5 % F.S,重復(fù)精度±0.2% F.S。

7.循環(huán)冷卻水路:配置冷水機(jī)組與空壓機(jī)。

8.電氣控制系統(tǒng):采用功能化模塊設(shè)計(jì)方式,匹配西門(mén)子控制單元和MCGS人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動(dòng)控制,基本工作單元的控制,安全報(bào)警及故障信息顯示,并通過(guò)文字方式提示,軟件的功能和模塊可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行單列或合并,但不得減少功能。


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