應用示例*PVD裝

*CVD裝置

*濺鍍裝置

*離子注入機

*真空爐、熱處理爐

磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置在軸旋轉(zhuǎn)的情況下,可以對于真空進行密封，也可以對氣體進行隔離。磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置是利用磁性流體的特性，由磁鐵將磁性流體固定于旋轉(zhuǎn)軸周圍,形成液體的“O形密封圈”。特性和優(yōu)點*一般真空用磁性流體

*低飽和蒸氣壓磁液

*耐高熱性強磁性流體

*耐腐蝕性氣體磁液

應用示例*PVD裝

*CVD裝置

*濺鍍裝置

*離子注入機

*真空爐、熱處理爐

磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置在軸旋轉(zhuǎn)的情況下,可以對于真空進行密封，也可以對氣體進行隔離。磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置是利用磁性流體的特性，由磁鐵將磁性流體固定于旋轉(zhuǎn)軸周圍,形成液體的“O形密封圈”。特性和優(yōu)點*一般真空用磁性流體

*低飽和蒸氣壓磁液

*耐高熱性強磁性流體

*耐腐蝕性氣體磁液

應用示例*PVD裝

*CVD裝置

*濺鍍裝置

*離子注入機

*真空爐、熱處理爐

磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置在軸旋轉(zhuǎn)的情況下,可以對于真空進行密封，也可以對氣體進行隔離。磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置是利用磁性流體的特性，由磁鐵將磁性流體固定于旋轉(zhuǎn)軸周圍,形成液體的“O形密封圈”。特性和優(yōu)點*一般真空用磁性流體

*低飽和蒸氣壓磁液

*耐高熱性強磁性流體

*耐腐蝕性氣體磁液