UL1000 Fab 可移動式英?？岛鈾z漏儀 ULTRATEST™ 傳感器技

工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測的“干式”標(biāo)準(zhǔn)

INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空泄漏檢測的工認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)

通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了最加的性價比。它提供先近的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應(yīng)時間的特點。緊湊的設(shè)計提供了高度的機(jī)動性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域。可選的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測試。

所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間，同時確?？梢越?jīng)濟(jì)實惠地檢測出所有泄漏。

UL1000 Fab 可移動式英?？岛鈾z漏儀好處：

·通過縮短抽氣時間和響應(yīng)時間加快泄漏檢測工作

·通過使用可選的背景抑制(lzero)，避免需要進(jìn)行多次泄漏測試

·通過緊湊的設(shè)計方便進(jìn)入空間有限的維護(hù)區(qū)域

·通過耐用的兩個熱絲離子源(三年保修)和逆流式真空系統(tǒng)實現(xiàn)低擁有成本(TCO)

·通過可旋轉(zhuǎn)顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠(yuǎn)程控制降低應(yīng)用難度

·通過內(nèi)置泄漏測試和自動校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)低成本維護(hù)

UL1000 Fab:

包裝尺寸：136*79*115cm

包裝重量：174kg

凈尺寸：106.8*52.5*85

凈重量：110公斤

典型應(yīng)用：

對清潔度要求嚴(yán)苛的工業(yè)真空設(shè)備制造

在將真空組件或子組件安裝到現(xiàn)有工具中之前

真空工具的維護(hù)工作，無論是否有泵的支持

工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

半導(dǎo)體、平板顯示器或太陽能電池制造

您的泄漏檢測解決方案專家

INFICON可為高度專業(yè)化行業(yè)中要求極為苛刻的真空過程提供權(quán)球嶺先的測量和傳感器技術(shù)及過程管理服務(wù)。特別是在制冷和空調(diào)技術(shù),半導(dǎo)體制造和汽車生產(chǎn)等領(lǐng)域，INFICON的氣體泄漏檢測產(chǎn)品有著廣泛應(yīng)用。

有INFICON 在您的身邊,您就有了一個專家顧問,他對您所在行業(yè)所面對的挑戰(zhàn)了如指掌,可與您一同找出適合您需求的最加解決方案。INFICON 的眾多分公司遍布權(quán)球，專家專業(yè)全威，確保提供最ding級的服務(wù)和最到位的支持。INFICON 不但在美國和歐洲建有技術(shù)先近的制造工廠，而且在中國,中國臺灣,法國,德國,日本,韓國,列支敦士登,新加坡,瑞士,英國和美國設(shè)有分公司。

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