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KS-41A 理音液體顆粒計數(shù)器

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海熙往科技有限公司
  • 品牌 RION/日本理音
  • 型號 KS-41A
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2023/7/24 15:30:29
  • 訪問次數(shù) 130

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上海熙往科技有限公司

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產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合

一、簡介

光刻膠中顆粒數(shù)量需要管控。光刻膠溶液中的顆粒數(shù)量直接決定了圖案的加工質(zhì)量和后續(xù)器件的良率。液體顆粒度儀作為電子材料開發(fā)的基本設(shè)備,用于在制造半導(dǎo)體、顯示面板過程中保持高清潔度的液體粒子計數(shù)器。可檢測光阻產(chǎn)品、SOG 等產(chǎn)品中小至0.07um 的顆粒。適應(yīng)于光刻膠材料開發(fā)和來料檢測。

KS-41A.jpg

二、KS-41A主要技術(shù)參數(shù)
測試方式:Off-line 
測量最小粒徑:0.15um(KS-41B為0.1um)
粒徑范圍:0.15um-0.5um
出廠設(shè)定通道:0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um 
可自行擴充至10Channels 
液體流速: 10mL / min
光源:鐳射二極管(波長 830nm,輸出功率:200mW) 
可測試粒子濃度:1200 顆/mL(0.15um 的誤差值在 5%以內(nèi))



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