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Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

筱曉光子

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


公司簡介


筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司成立于2014年,是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)和擁有“上海市專精特新企業(yè)稱號”的專業(yè)光學(xué)服務(wù)公司,業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項目合作研發(fā),公司位于大虹橋商務(wù)板塊,擁有接近2000m2的辦公區(qū)域,建有500平先進的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實驗室,為國內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。公司主要經(jīng)營光學(xué)元件、激光光學(xué)測試設(shè)備、以及光學(xué)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)。十年來,依托專業(yè)、強大的技術(shù)支持,以及良好的商務(wù)支持團隊,筱曉的業(yè)務(wù)范圍逐年增長。目前業(yè)務(wù)覆蓋國內(nèi)外各著名高校、頂級科研機構(gòu)及相關(guān)領(lǐng)域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業(yè)的研發(fā)實驗室,奠定了我們在設(shè)備的拓展應(yīng)用及自主研發(fā)領(lǐng)域堅實的基礎(chǔ)。

公司自成立以來,始終遵循誠信發(fā)展、探索創(chuàng)新、務(wù)實致遠、以質(zhì)取勝的服務(wù)理念,并在產(chǎn)品開發(fā)和銷售中貫徹到底。公司自始至終秉承著國際標準的質(zhì)量安全保障。多年來,公司一直致力于光學(xué)設(shè)備的設(shè)計開發(fā),以及知識產(chǎn)權(quán)的保護。我們將不斷完善管理機制和技術(shù)水平,為客戶提供更安全環(huán)保的產(chǎn)品以及更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。




應(yīng)用領(lǐng)域


圖片1.png                    


                   

醫(yī)學(xué)醫(yī)用相關(guān)產(chǎn)品分類:Wasach OCT光柵、 SLD 二極管、高速掃頻激光器、SOA 放大器、光纖延遲線,OCT光譜分析儀

......


                   

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光纖通訊與傳感相關(guān)產(chǎn)品分類: 波分復(fù)用器、光纖放大器、高速光電探測器、鎖頻半導(dǎo)體可調(diào)諧激光器、強度/相位調(diào)制器、特種光纖、超窄線寬穩(wěn)頻激光器模塊、光通訊DFB激光器......


                   

圖片3.png                    


                   

微波光子相關(guān)產(chǎn)品分類:20G信號發(fā)生器、高速電光調(diào)制器、高速光電探測器、高頻相位/強度電光調(diào)制器、高速示波器 、任意波形發(fā)生器......

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氣體分析相關(guān)產(chǎn)品分類:單模聲光調(diào)制器 、超高反射率反射鏡、光電探測器模塊 、小型化氣室、中紅外氣體吸收池、激光氣體分析綜合控制器、DFB激光二極管、中紅外超連續(xù)譜光源、高精度波長計......


                   

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量子計算相關(guān)產(chǎn)品分類: 外腔半導(dǎo)體激光器、空間光隔離器 、電光調(diào)制器、高精度波長計 、高精度光譜分析儀......


                   

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激光雷達相關(guān)產(chǎn)品分類:窄線寬穩(wěn)頻激光器模塊、FMCW DFB激光器、ns級超快光開關(guān),光電平衡探測器......


                   

圖片7.png                    


                   

半導(dǎo)體分析相關(guān)產(chǎn)品分類:激光光束分析儀、激光芯片LIV測試系統(tǒng)、近紅外相機、六軸位移臺、光束勻化......

圖片8.png                    


                   

機械視覺相關(guān)產(chǎn)品分類:經(jīng)濟型熒光近紅外數(shù)字相機、低成本近紅外InGaAs銦鎵砷相機,中紅外高性能非制冷相機、UV CMOS/CCD紫外波段相機、 SWIR鏡頭(C-mount)......





222.jpg


先進光學(xué)實驗室

半導(dǎo)體綜合分析實驗室半導(dǎo)體激光器光譜分析,功率測試,光束質(zhì)量測試,線寬測試,各種光無源器件的測試,光纖放大器等等近紅外產(chǎn)品的測試。目前我們在半導(dǎo)體測試,TDLAS激光法氣體分析檢測,CRDS腔衰蕩系統(tǒng),DTS高溫傳感以及DVS等項目研究開發(fā)領(lǐng)域有著深厚的積累,能夠為客戶提供更加精準的器件方案支持。
未來前沿光學(xué)綜合實驗室負責公司未來前沿科學(xué)的相關(guān)應(yīng)用支持。其中包括:自適應(yīng)光學(xué),量子計算,微波光子,太赫茲,微納光學(xué)等技術(shù)學(xué)習(xí)與推廣應(yīng)用,

自適應(yīng)光學(xué):波前分析儀,可變形鏡,近紅外CCD相機;

微波光子:是德科技20G矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,25G信號發(fā)生器,20G高速調(diào)制器,22G光電接收器,光譜儀AQ6375B、771B-MIR波長計等測量設(shè)備;

太赫茲:300G太赫茲發(fā)生器,太赫茲功率計,太赫茲時域光譜儀分析儀;

微納光學(xué):微納光纖制作平臺,光學(xué)顯微鏡,2-4.5um超連續(xù)譜光源;

量子計算:(在建中)


高新技術(shù)企業(yè)證書




各種激光器光源,光纖光柵,光譜儀中紅外相機,光纖放大器,光學(xué)晶體窗片透鏡反射鏡,準直器光纖跳線,偏振器件,濾波器濾光器標準具,延遲線光衰減器,光束整形器太赫茲晶體等

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,建材,電子 組成要素 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備
總覽

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。

VICT(Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波 谷處的振動免疫) 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十 分精密的環(huán)境下工作”的認知。


Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作),Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)
產(chǎn)品特點

30 納米 jue對精度,1nm重復(fù)精度 

0.6 米直徑工件, 僅需 1 秒測量

表面形貌 3D 成像

全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測量軟件,現(xiàn)已支持Windows11

自動調(diào)平選件,讓全自動測量成為現(xiàn)實

成盤測量選件 實現(xiàn)生產(chǎn)過程控制

一臺機器可測量多種工件 通過更換不同的鏡頭 平面、凹面、凸面…

通用參數(shù)

能夠測量的工件 

直徑 < 600 mm

粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件

超快速、超高精度的表面形貌三維成像

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通過光路擴展,  測量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件

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通過CGH補償器, 測量復(fù)雜曲面

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黑色或透明工件, 仍然能夠測量

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適合半導(dǎo)體應(yīng)用的MST(多表面測量) 一次采集, 同時完成上表面、下表面、厚度的計量。

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適合半導(dǎo)體應(yīng)用的jue對測距干涉,量程 > 100 μm 可進行臺階、翹曲度、熱變形的測量。

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出色的動態(tài)范圍, 超過100條干涉條紋, 仍然可以分析。

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將 FEA(有限元分析)引入干涉儀結(jié)構(gòu)設(shè)計

根據(jù)文獻, 干涉計算對 0~120 Hz 的振動敏感。 因此, 我們將機械結(jié)構(gòu)的 7 階模態(tài)設(shè)計到 127 Hz, 大大降低了機械結(jié)構(gòu)對振動的敏感性

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超高重復(fù)精度

對一片 250mm 直徑的平晶進行 1000 次連續(xù)測量。

PV 值的重復(fù)精度為 5.7 納米 (1/111 λ) 

RMS 值的重復(fù)精度為 0.38 納米 (1/1666 λ)

VICT Dop模式,數(shù)據(jù)未經(jīng)人為修改


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三維成像原理

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路


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VICT 技術(shù)原理

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選件

VICT High 超高精度 測量模式

支持到0.1納米 ( 1/6330 λ)RMS重復(fù)精度 和1納米(1/633 λ)PV重復(fù)精度, 對環(huán)境擾動進行建模分析, 包括振動、氣流、光場在內(nèi)的負面影響排除。

沒有使用多次測量取平均的方法, 不會導(dǎo)致被測物面型被“美化” 。

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VICT Dop 多普勒抗振動測量模式

非常惡劣的工業(yè)環(huán)境下仍正常工作,所有模式中zui高的測量效率, 允許不使用隔振平臺。

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蒙版跟蹤


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超分辨三維圖


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清潔度分析


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基礎(chǔ)配置

主機型號測量尺寸(圓形-直徑)(注1)立式使用臥式使用
Type100102mmOKOK
Type150152.4 mmOKOK
Type250250mmOKOK
Type340 (注2)340mmOKOK
Type450457.2 mmxOK
Type600609.6 mmxOK
注1:在80%直徑以內(nèi)使用時,可以獲得更好的測量效果。
注2:推薦臥式使用,立式使用時會降低精度。

激光測距點數(shù)標準692,224
高清2,663,424
高速186,623
超高速692,224

測量激光激光器類型波長(nm)8h波長穩(wěn)定度(nm)(注1)壽命(h)(注2)
穩(wěn)定氦氖632.80.000520,000
穩(wěn)定半導(dǎo)體(注3)6330.0250,000
高效氦氖632.80.120,000
高效半導(dǎo)體(注4)63565,000
注1:在恒溫,隔振的實驗室測試。
注2:由激光器廠家提供的參考壽命。
注3:推薦用于Vctsin MST
注4:可用于Victsin MST
計算機CPU獨立顯卡顯示屏操作系統(tǒng)
Intel 12代i712核心NVIDIA Quadro2k分辨率Win10

測量軟件Victsir軟件模塊掃描方式單平面干涉(注1)雙平面干涉(注2)
Victsin Static (注3)OKX
Victsin PSI壓電振鏡OKX
Victsin MST波長調(diào)諧OKOK
注1:適用于大部分工件。
注2:通常適用于透明工件,同時對上表面,下表面,厚度,進行測量。
注3:基礎(chǔ)版本,不推薦用于高精度測量。



測量精度

jue對精度 注1Type 100~250Type 340Type 450~600
PV31.64 nm或1/20λ42.19 nm或1/15 λ63.28 nm或1/10λ
RMS6.328 nm或1/100 λ8.437 nm或1/75λ12.66 nm或1/50 λ
注1:jue對精度被定義為"參考鏡的jue對精度"實際測量的jue對精度=jue對精度+重復(fù)精度。
注2:波長為測量激光的波長,例如632.8 nm的測量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm .
注3:該精度為我們提供的標準平面參考鏡的精度,更高精度需求請聯(lián)系銷售人員。
注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數(shù)值請聯(lián)系銷售人員確認。

重復(fù)精度VICT-HighVICT-LowVICT-Dop
PV1 nm或1/633 λ3 nm或1/211λ10或1/63λ
RMS0.1nm或1/6330 λ0.3 nm或1/2110 λ1 nm或1/633λ
注1:實際精度與測量環(huán)境有關(guān),zui高精度與VICT-High相同,表格內(nèi)數(shù)值考慮了輕微的環(huán)境擾動。


PV值是 Peak to Valley (峰值與谷值的差值 )


RMS值是 Root Mean Square ( 均方根值 ),根據(jù)經(jīng)驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類的簡單形狀,大多使用PV值來表示。

例如:面型精度的PV值是1/4λ時,表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm


重復(fù)精度定義

連續(xù)100次測量的允差 (95%置信度)


測試環(huán)境

樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內(nèi)空調(diào)關(guān)閉,以避免氣流擾動。


被測物

直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。


可靠性與環(huán)境要求

硬件可靠性平均沒的有.故障工作時間>1000小時
平均連續(xù)沒的有.故障工作時間>12小時/天
軟件可靠性平均連續(xù)沒的有.故障工作時間>12小時/天
對準角度允差

± 3°

光瞳調(diào)焦范圍≥±1.5米
運輸和貯存溫度+10~+40 °c
濕度RH≤60%
工作條件溫度+20~+25℃
溫度變化≤±1℃ @24小時
濕度RH≤50%
電壓AC 220V,50 Hz,1.5kW



公司簡介
筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)的專業(yè)光學(xué)服務(wù)公司,業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項目合作研發(fā),公司位于大虹橋商務(wù)板塊,擁有接近2000m2的辦公區(qū)域,建有500平*的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實驗室,為國內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。公司主要經(jīng)營光學(xué)元件、激光光學(xué)測試設(shè)備、以及光學(xué)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)。依托專業(yè)、強大的技術(shù)支持,以及良好的商務(wù)支持團隊,筱曉的業(yè)務(wù)范圍正在逐年增長。目前業(yè)務(wù)覆蓋國內(nèi)外各著名高校、頂級科研機構(gòu)及相關(guān)領(lǐng)域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業(yè)的研發(fā)實驗室,奠定了我們在設(shè)備的拓展應(yīng)用及自主研發(fā)領(lǐng)域堅實的基礎(chǔ)。
主要經(jīng)營
激光器/光源
半導(dǎo)體激光器(DFB激光器、SLD激光器、量子級聯(lián)激光器、FP激光器、VCSEL激光器)
氣體激光器(HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器)
光纖激光器(連續(xù)激光器、超短脈沖激光器)
光學(xué)元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學(xué)晶體、光纖隔離器/環(huán)形器、脈沖驅(qū)動板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準直器、光接收組件、激光控制驅(qū)動器等各種無源器件
激光分析設(shè)備
高精度光譜分析儀、自相關(guān)儀、偏振分析儀,激光波長計、紅外相機、光束質(zhì)量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設(shè)備
光纖拉錐機、裸光纖研磨機 。




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