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顯微分光膜厚儀(OPTM系列)

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上海倍藍光電科技有限公司成立于2012年,是一家年輕而又富有生命力的公司,公司負責(zé)人于立民擁有中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室光學(xué)專業(yè)碩士學(xué)位,同時擁有中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所航天遙感室物理電子學(xué)專業(yè)博士學(xué)位。曾就職于Labsphere Inc.(藍菲光學(xué))公司擔(dān)任該公司亞太區(qū)技術(shù)總監(jiān),負責(zé)亞洲區(qū)域內(nèi)客戶解決方案的制定及技術(shù)支持。在供職期間,主導(dǎo)并設(shè)計了多項難度大、技術(shù)復(fù)雜的定制項目,如大口徑空間相機輻射定標系統(tǒng)、弱光紫外空間相機輻射定標系統(tǒng)、單波長可調(diào)諧均勻光源系統(tǒng)、高精度多光譜輻亮度標定系統(tǒng)(輻照度標準燈-漫反射板系統(tǒng))、顯示器ACR(環(huán)境對比度)測量系統(tǒng)等多個高難度、高復(fù)雜度的定制系統(tǒng)。后帶領(lǐng)一支具有豐富的儀器設(shè)備開發(fā)、使用維護經(jīng)驗的工程師和商務(wù)人員成立倍藍光電科技有限公司。

公司專注于光電領(lǐng)域儀器設(shè)備的定制開發(fā)、代理銷售與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)包括儀器設(shè)備的維修和周邊產(chǎn)品的銷售,為國內(nèi)科研及制造業(yè)用戶提供全面的服務(wù)。公司致力于引進國際上先進的產(chǎn)品、先進的技術(shù)完善定制服務(wù),向客戶提供完善的服務(wù)、完善的產(chǎn)品、完善的售后服務(wù)。幫助客戶解決在科研、生產(chǎn)中遇到的問題。

公司在代理和銷售光電設(shè)備的同時并提供基于各種光電設(shè)備的拓展應(yīng)用和OEM研發(fā)。我們在光電行業(yè)有著多年的工作經(jīng)驗和實際操作方案,積累了大量的應(yīng)用和研發(fā)實例,為客戶提供一站式的解決方案。



儀器

測量目標膜的**反射率,高精度測量膜厚和光學(xué)常數(shù)!非接觸·非破壞·顯微

測量時間僅1秒!

顯微分光膜厚儀(OPTM系列)使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過**反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件

顯微分光膜厚儀(OPTM系列)(圖1)

產(chǎn)品特點:

  • 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

  • 通過顯微光譜法測量高精度**反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))

  • 1點1秒高速測量

  • 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外***近紅外)

  • 區(qū)域傳感器的安全機制

  • 易于分析向?qū)В鯇W(xué)者也能夠進行光學(xué)常數(shù)分析

  • 獨立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求

  • 支持各種自定義

測量項目:

  • **反射率測量

  • 多層膜解析

  • 光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))

應(yīng)用:

  • 半導(dǎo)體:晶圓樣品的自動調(diào)整,晶圓的彎曲檢測

  • 光學(xué)元器件:鏡頭鏡片的放射率,彎曲等檢測

產(chǎn)品規(guī)格型號


OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范圍

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范圍

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

測定時間

1秒 / 1點

光斑大小

10μm (***小約5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規(guī)格

氘燈+鹵素?zé)? 

鹵素?zé)?/span>

電源規(guī)格

AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規(guī)格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規(guī)格之主體部分)

重量

約 55kg(自動樣品臺規(guī)格之主體部分)


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