光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列

更小的測量盲區(qū)

更高精度的尺寸及位移復(fù)現(xiàn)能力

高靈敏度光學(xué)非接觸測量

多膜層/多層玻璃測厚能力

同軸式測量配置，避免了激光三角傳感器的角度限制，縮小測量盲區(qū)，

適合復(fù)雜細(xì)微結(jié)構(gòu)（如深溝槽結(jié)構(gòu)等）的測量。

針對光譜共焦位移傳感器研制開發(fā)的HC-CC物鏡采用近十片鏡片，能夠?qū)崿F(xiàn)最小10微米的成像光斑，同時提高測量線性精度。

針對光譜共焦位移傳感器定制開發(fā)的雜散光抑制優(yōu)化光譜儀以及高亮度彩色激光光源，都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度，能夠?qū)Ρ砻娣祷氐臉O弱的光強(qiáng)（如薄膜等透明物體）完成測量。

光譜共焦傳感器適合各種材料的測量，并能確保對不同材料的測量性能，同時支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。

抗干擾模塊化探頭

光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列安裝于測量現(xiàn)場的探頭是純光學(xué)器件，通過光纖與控制器連接