化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備>AWL系列 舜宇晶圓檢查系統(tǒng)
AWL系列 舜宇晶圓檢查系統(tǒng)
- 公司名稱 湖南禾怡科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) AWL系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2023/4/11 11:17:15
- 訪問(wèn)次數(shù) 214
晶圓檢查系統(tǒng)晶圓自動(dòng)搬送機(jī)晶圓搬運(yùn)晶圓檢測(cè)半導(dǎo)體檢測(cè)
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晶圓最小厚度 | 150μm |
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AWL系列可自由設(shè)置的檢查模式,充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作舒適、簡(jiǎn)便,又可稱作晶圓自動(dòng)搬送機(jī)。
360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1的360°旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度≤70°,晶背1傾斜角度≤90°,晶背 2傾斜角度≤160°,利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度,可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。
人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)
LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺(jué)體驗(yàn),可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序,調(diào)試參數(shù)一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率,充分體現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)晶圓搬送機(jī)的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)理念。
精密微觀檢查
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡,可滿足明場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動(dòng)控制系統(tǒng),可排查 μm 級(jí)異常,諸如孔未開(kāi)出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
應(yīng)用領(lǐng)域
晶圓缺陷觀察
詳細(xì)技術(shù)規(guī)格