Olympus mx63半導(dǎo)體檢測顯微鏡優(yōu)勢特點有：

1、良好的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。

2、從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集

通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在特定時間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。

3、輕松生成全景圖像: 即時圖像拼接

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動載物臺無需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。

4、生成全聚焦圖像: EFI
奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動或電動Z軸調(diào)焦使用，可輕松實現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。

5、利用HDR同時捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

采用良好圖像處理技術(shù)的高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級外觀的報告。

6、從基本測量到上等分析

測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便是入門級奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測工作上。

基本測量（印刷電路板上的圖形）                            分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面）                自動測量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)）

7、高效的報告創(chuàng)建

創(chuàng)建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報告。編輯非常簡單，報告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

8、獨立相機選項

利用DP22或DP27顯微鏡相機，MX63系列即可成為良好的獨立系統(tǒng)。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進(jìn)行控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測量工作的同時讓實驗室空間得到充分利用。

9、支持潔凈室合規(guī)性的良好設(shè)計

MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計，并具有幫助很大限度減小樣品污染或受損風(fēng)險的功能。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計，可幫助用戶在長時間使用中保持舒適。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL國際規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。
選配晶圓搬送機 — AL120系統(tǒng)*
選配的晶圓搬送機可安裝在MX63系列上，實現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺上。良好的性能和可靠性可實現(xiàn)高效的前后宏觀檢測，同時搬送機還可幫助提高實驗室工作效率。

* AL120 未在歐洲、中東、非洲地區(qū)（EMEA）銷售。

10、快速、清潔的檢測
MX63系列可實現(xiàn)無污染的晶圓檢測。所有電動組件均安裝在防護結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動物鏡轉(zhuǎn)換器更快更**，縮短檢測間隔時間的同時，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

11、系統(tǒng)設(shè)計實現(xiàn)高效觀察

利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，XY載物臺能夠?qū)崿F(xiàn)對載物臺移動的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺也可幫助實現(xiàn)高效的觀察
可調(diào)傾角觀察鏡筒的調(diào)節(jié)范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。

12、接受所有晶圓尺寸

該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。

如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。

有了MX63系列，各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

13、*可定制
MX63系列設(shè)計用于讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。

14、兩個系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格

MX63系統(tǒng)能夠檢測尺寸達(dá)200毫米的晶圓，而MX63L系統(tǒng)能夠以與MX63系統(tǒng)相同的較小占用空間，檢查尺寸達(dá)到300毫米的晶圓。模塊化設(shè)計可讓根據(jù)您的特定需求定制顯微鏡變得更加輕松。

15、紅外兼容性

紅外觀察可利用紅外物鏡透鏡實現(xiàn)，該物鏡能夠通過透射紅外線的硅特性讓操作人員實現(xiàn)對封裝和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內(nèi)部進(jìn)行非破壞檢測。5X到100X紅外物鏡可實現(xiàn)從可見光波長到近紅外波長的色差校正。