技術(shù)參數(shù)：

·光譜范圍：190-2100 nm

·8種光斑尺寸: 小35 X 85 um

·探測(cè)器：3個(gè)獨(dú)立探測(cè)器，分別優(yōu)化紫外，可見和近紅外

·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

·樣品水平度自動(dòng)調(diào)整

·自動(dòng)量角器：變角范圍35°- 90°，全自動(dòng)調(diào)整，小步長(zhǎng)0.01°

主要特點(diǎn)：

·自動(dòng)化設(shè)計(jì)，自動(dòng)對(duì)焦、校正

·全新光路、電路設(shè)計(jì)，測(cè)量精度更高，速度更快

·50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件

·雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高

·8個(gè)尺寸微光斑，可視技術(shù)

·自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像