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德國尤尼坦 大尺寸快速退火爐(12英寸) - 適合光伏樣品 VPO-300

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本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測(cè)設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合大尺寸樣品的熱處理。


儀器特點(diǎn):

-  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA;

-  可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;

-  加熱區(qū)域尺寸:300毫米 X 300毫米;

-  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm X 156mm電池片,300mm X 300mm電池片等;





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