OLS5100 紅外顯微成像系統(tǒng) BX/MX
- 公司名稱 蘇州合儀精密電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) OLS5100
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/3/28 8:43:12
- 訪問次數(shù) 458
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子,制藥 |
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配置IR專用物鏡,可用于透過硅材料成像,進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測(cè)量
奧林巴斯BX/MX系列紅外顯微鏡配備的5X到100X紅外(IR)物鏡,提供了從可見光波長到近紅外的像差校正。
對(duì)于高放大倍率的物鏡,配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡,校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差,使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。
紅外顯微成像系統(tǒng) BX/MX 電子設(shè)備在當(dāng)今現(xiàn)代科技中已非常普遍。每個(gè)人很有可能已經(jīng)在使用電子設(shè)備時(shí),間接遇到并使用了硅晶圓。 晶圓是一種薄的半導(dǎo)體材料基材,用于制造電子集成電路。半導(dǎo)體材料種類多樣,電子器件中*常用的一種半導(dǎo)體材料是硅 (Si)。硅晶圓是集成電路中的關(guān)鍵部分。它由高純度、幾乎無缺陷的單晶硅棒經(jīng)過切片制成,用作制造晶圓內(nèi)和晶圓表面上微電子器件的基板。硅晶圓會(huì)積累在生長、切割、研磨、蝕刻、拋光過程中的殘余應(yīng)力。因此,硅晶圓在整個(gè)制造過程中可能產(chǎn)生裂紋,如果裂紋未被檢測(cè)到,那些含有裂紋的晶圓就在后續(xù)生產(chǎn)階段中產(chǎn)生無用的產(chǎn)品。裂紋也可能在將集成電路分割成單獨(dú) IC 時(shí)產(chǎn)生。因此,若要降低制造成本,在進(jìn)一步的加工前,檢查原材料基材的雜質(zhì),裂紋以及在加工過程中檢測(cè)缺陷非常重要。
紅外顯微成像系統(tǒng) BX/MX 近紅外一般定義為700-1600nm波長范圍內(nèi)的光線,由于硅傳感器的上限約為1100nm,砷化銦鎵(InGaAs)傳感器是在近紅外中使用的主要傳感器,可覆蓋典型的近紅外頻帶。大量使用可見光難以或無法實(shí)施的應(yīng)用可通過近紅外成像完成。當(dāng)使用近紅外成像時(shí),水蒸氣、霧和硅等特定材料均為透明,因此紅外顯微檢測(cè)被應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各個(gè)方面。
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