光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
半自動劃片機/切片機(6英寸)-半導體材料
適用于 6 英寸晶圓– 6 英寸硅晶圓
– 緊湊尺寸的占地面積(寬 x 深 = 590 x 880)
– 主軸 : 60,000 rpm (可選: 80,000rpm)
– 刀片 : 2“ (φ58mm) (可選 : 3” )
– 多處安裝劃片
– 最大主軸轉速 : 60,000rpm
– 可選功能
○ BBD(刀片破損檢測器)○ NCS(非接觸式傳感器)
半自動劃片機/切片機(6英寸)-半導體材料,可劃片的樣品: 硅晶圓, PCB, QFN, PBGA, 陶瓷, 石英玻璃, LED,移動式藍色玻璃濾光片、碳化硅等
技術指標:
型號 | SD110 | |
工件尺寸 | 6英寸(150毫米X 150毫米) | |
X | 切割范圍 | 180毫米 |
最大速度 | 0.1 ~ 800 毫米/秒 | |
Y | 切割范圍 | 180毫米 |
索引步進 | 0.0001 | |
索引定位精度 | 0.002/180 | |
Z1 | 最大行程 | 33.5毫米 |
移動分辨率 | 0.00005 | |
重復性精度 | 0.001 | |
Θ | 最大旋轉角度 | 320 度 |
紡錘 | 輸出 | 1.2千瓦 / 1.8千瓦 |
最大旋轉 | 最大 60,000 rpm | |
可選項目 | NCS(非接觸式傳感器) | 基本 |
多切割 | 基本 | |
卡盤工作臺 | 基本 | |
尺寸(寬 x 深 x 高) | 590毫米 x 880毫米 x 1680毫米 | |
重量 | 480 公斤 |