化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>其它晶圓缺陷檢測設(shè)備>ETNA HTRB/HTGB高溫高壓反偏測試系統(tǒng)
ETNA HTRB/HTGB高溫高壓反偏測試系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市遠(yuǎn)東騰輝科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) ETNA
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2022/11/16 15:36:47
- 訪問次數(shù) 404
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特點(diǎn):
雙化室,每個(gè)帶有 12 個(gè) BiB 插槽
● 強(qiáng)大的冷卻裝置與傳熱相結(jié)合
流體回路以優(yōu)化能耗和減少壓縮機(jī)回路的壓力
●帶充氣墊片的自動(dòng)推拉門
● 插槽級別的自動(dòng) BiB 插入/提取
●非常緊湊
●高功耗
●高可靠性
●易于訪問
●兼容HD & HD/H 和增強(qiáng)標(biāo)準(zhǔn)
●工業(yè) 4.0 – 符合工廠自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)
溫度范圍從-45°C到200°C
溫度設(shè)置分辨率0.1°C
溫度設(shè)置精度±1°C
溫度均勻性
有效范圍為-45°C÷150°C
12個(gè)Bibs負(fù)載測量點(diǎn)的耗散
距室壁100 mm,距DUT 10 mm ±3°C
150°C時(shí)的耗散量x 12 Bibs 5KW/7.5 KW(*)
-45°C時(shí)的耗散量x 12個(gè)2.5KW/3.5 KW(*)
平均上升溫度梯度
從-45°C到150°C,12個(gè)BIB,每個(gè)8 Kg。
未通電 >10.0°C/分鐘
平均下降溫度梯度
150°C至-40°C,12個(gè)圍嘴,每個(gè)8 Kg
未通電 >6.0°C/min