KT-Z1650PVD 小型直流磁控濺射儀
- 公司名稱 鄭州科探儀器設備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號 KT-Z1650PVD
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/3/27 15:03:30
- 訪問次數(shù) 1476
聯(lián)系方式:裴勇15136134901 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
靶材材質(zhì) | 金銀銅鎳鐵鉻等 | 靶材尺寸 | φ50mm |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
濺射氣體 | 氬氣 | 控制方式 | 觸摸屏控制 |
樣品倉尺寸 | φ160mm | 樣品臺尺寸 | 50mm |
應用領域 | 綜合 |
小型直流磁控濺射儀,
輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作
小型離子濺射儀信息由南京舜儀實驗設備有限公司為您提供,如您想了解更多關于小型離子濺射儀報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢
離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體
。
。
小型直流磁控濺射儀技術參數(shù);
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |