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TruPlasma Match1000 Huttinger 等離子射頻電源
- 公司名稱 深圳市新瑪科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 TruPlasma Match1000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/1/28 17:19:28
- 訪問次數(shù) 1831
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Huttinger等離子體射頻電源TruPlasma Match1000提供解決方案
Huttinger等離子體射頻電源TruPlasma Match1000提供技術(shù)支持服務(wù)
高頻電流:測量用于識別等離子體異常的高精度AC電流測量裝置,于工藝流程就近安放在阻抗匹配器內(nèi),緊挨腔室。
電弧管理:是適用于等離子體工藝流程控制的理想模塊。有針對性的電弧識別確保生產(chǎn)效率,同時保護產(chǎn)品與設(shè)備。
接口:Analog/Digital、PROFIBUS和EtherCAT作為可選接口提供。標配EtherNet、SystemPort和RS232/485。
等離子體工藝就像一個復(fù)雜可變的負載,必須通過發(fā)生器為其不斷供電。這項工作由有源匹配網(wǎng)絡(luò)(所謂的阻抗匹配器)來完成,確保隨時匹配50Ω的最佳阻抗。由此形成協(xié)調(diào)的系統(tǒng)解決方案——通快RF系統(tǒng)。通過不同接口(如EtherCAT)可十分輕松地將發(fā)生器和阻抗匹配器集成至現(xiàn)有工藝環(huán)境之中,并通過發(fā)生器與阻抗匹配器的智能連接(即所謂的SystemPort)形成經(jīng)優(yōu)化的系統(tǒng)解決方案。
Huttinger霍廷格高頻電源PFG 1000
霍廷格huttinger DC3030直流磁控濺射電源
憑借主振蕩器可穩(wěn)定和優(yōu)化關(guān)鍵的同步等離子體過程。集成式數(shù)字頻率與相位合成器確保高頻率與相位穩(wěn)定性,可以實現(xiàn)按照極小的步幅調(diào)整相位??蛇x擇用于13.56 MHz頻率以及各種頻率組合的不同規(guī)格主振蕩器。
復(fù)雜的圖形表示實現(xiàn)全面管理所有相關(guān)工藝參數(shù)。負載與阻抗匹配器阻抗通過史密期圓圖,含頻率與相位在內(nèi)的高頻輸入與輸出功率借助實時示波器進行可視化。