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PICOSUN™P-300B 原子層沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海磊微科學(xué)儀器有限公司 成立于2015年,總部位于上海市自由貿(mào)易區(qū),是一家集銷售、服務(wù)、技術(shù)支持及研發(fā)為一體的企業(yè)。公司主要產(chǎn)品為高精度的分析檢測、生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的備件,目前已與Park、Tescan、PicosunInstec等優(yōu)秀設(shè)備供應(yīng)商建立戰(zhàn)略合作關(guān)系。

上海磊微銷售高精度的產(chǎn)品,同時培養(yǎng)了專業(yè)的銷售和售后服務(wù)團(tuán)隊,以專業(yè)的服務(wù)獲得了廣大客戶的認(rèn)可。目前,上海磊微提供的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片、顯示、太陽能等半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域客戶,同時服務(wù)于各大高校、科研院所,并以專業(yè)的銷售和售后服務(wù)獲得了廣大客戶的認(rèn)可并建立了良好的合作關(guān)系。同時在北京、成都、深圳、合肥、煙臺等地設(shè)有服務(wù)網(wǎng)點。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼的今天,上海磊微伴隨著行業(yè)不斷學(xué)習(xí)、積極提升自身水平, 為越來越多的客戶提供了專業(yè)的產(chǎn)品和服務(wù)。今后,磊微將以不斷培育的市場為依托,以先進(jìn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為核心,以高效運作的團(tuán)隊為基礎(chǔ),迎來更快更好的發(fā)展。我們一直秉承團(tuán)結(jié)創(chuàng)新、嚴(yán)謹(jǐn)奮進(jìn)的企業(yè)精神,秉承誠信務(wù)實、互利多贏的經(jīng)營理念,努力為客戶、為社會提供高品質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)。



原子力顯微鏡,掃描電鏡,原子層沉積ALD,探針

價格區(qū)間 面議 儀器種類 TOF
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源

PICOSUN™P-300B原子層沉積系統(tǒng)已經(jīng)成為高產(chǎn)能ALD 制造業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)。擁有熱壁、*  獨立的前驅(qū)體管路和特殊的載氣設(shè)計, 確  保我們可以生產(chǎn)出具有優(yōu)異的成品率、低  顆粒水平和電學(xué)和光學(xué)性能的高質(zhì) 量ALD薄膜。高效緊湊的設(shè)計使得維護(hù)更  加方便、快捷, 最大限度的減少了系統(tǒng)的  維護(hù)停工期和使用成本。擁有技術(shù)的 Picoflow™使得在超高深寬比結(jié)構(gòu)上沉積  保形性薄膜更高效, 并已在生產(chǎn)線上得到 驗證。

 

PICOSUN™P-300B原子層沉積系統(tǒng)襯底尺寸和類型

•   200mm晶圓 25片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

•    150mm 晶圓 50片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

•    100mm 晶圓 75片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

•    非標(biāo)準(zhǔn)晶圓類基底(使用定制夾具)

•    高深寬比基底(最大深寬比1:2500)

 

工藝溫度

•    50 – 500°C

 

標(biāo)準(zhǔn)工藝

•   批量生產(chǎn)的平均工藝時間小于10秒/循環(huán)*

•   Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各種金屬

•    同一批次薄膜不均勻性<1% 1σ

(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**

 

基片加載

•    氣動升降, 手動裝載

•    線性半自動裝載

 

前驅(qū)體

•    液態(tài), 固態(tài), 氣態(tài), 臭氧源

•    源瓶余量傳感器, 提供清洗和裝源服務(wù)

•     4根獨立的源管線,最多加載8個前驅(qū)體源



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