化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>scrubber全類(lèi)型 尾氣處理設(shè)備-scrubber
scrubber全類(lèi)型 尾氣處理設(shè)備-scrubber
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 蘇州銳納微光學(xué)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) scrubber全類(lèi)型
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2023/12/1 15:05:47
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 2781
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一想到半導(dǎo)體行業(yè),大家想到的是機(jī)械生產(chǎn),材料,電子電器,與污染兩個(gè)字似乎也沒(méi)有什么關(guān)系。但事實(shí)上,半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中使用了大量有機(jī)物和無(wú)機(jī)物,包括許多有毒有害物質(zhì),對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重。如不通過(guò)尾氣處理設(shè)備對(duì)廢氣尾氣加以控制,將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
半導(dǎo)體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設(shè)備,干式等
該設(shè)備主要去除半導(dǎo)體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
噴淋塔
對(duì)于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ,半導(dǎo)體廠封閉車(chē)間大都采用大型臥式洗滌塔進(jìn)行廢氣處理。