PLS-F1000/F1002 晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機(jī)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PLS-F1000/F1002
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/9 14:28:47
- 訪問次數(shù) 2674
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸 | 檢測內(nèi)容 | TTV,?Bow,?Warp,?Thickness,?TIR |
產(chǎn)能 | 280WPH | 晶圓厚度測試范圍 | 20um~2500um |
分辨率 | 0.002um |
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機(jī)PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的晶圓形貌自動檢測及分選機(jī)。
1、適用晶圓 Wafer Size
• 4寸、6寸、8寸、12寸晶圓
2、檢測內(nèi)容與結(jié)果輸出 Measurements &Export
• 檢測內(nèi)容:TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sori, Sag, LTV(Fullmap測試)
3、檢測關(guān)鍵指標(biāo) Measurement Key Capability
• 產(chǎn)能(4寸、4線米字):280WPH
• 晶圓厚度測試范圍:20um~2500um
• 檢測分辨率:0.002um
• 重復(fù)性:3σ≤0.1um
• Bow/Warp 重復(fù)性 : 3σ≤0.5um
• 選配 OCR 識別 尋邊功能 MEMS等擴(kuò)展
• 具光譜共焦雙探頭對射傳感器以及紅外干涉點(diǎn)傳感器厚度測量技術(shù)
• 可依需求提供客制單機(jī) wafer mapping 機(jī)
4、適用范圍 Film Size &Applied Situation
• 白膜、藍(lán)膜、黑膜及多層復(fù)雜薄膜結(jié)構(gòu)
• 可用于50mm到450mm晶圓及基底,也可根據(jù)需求定制
• 應(yīng)用范圍包括刻蝕、化學(xué)氣相沉積、光刻、化學(xué)機(jī)械拋光和晶圓鍵合等工藝段的測量
紅外干涉中心點(diǎn)與邊緣各層厚度實(shí)時畫面
晶圓形貌檢測結(jié)果三維圖
以上是晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機(jī)的介紹。