VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
- 公司名稱 上海添時科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 深圳科晶
- 型號 VTC-16-3HD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/8/19 17:13:46
- 訪問次數(shù) 2734
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,電子,電氣,綜合 |
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達(dá)500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設(shè)備進(jìn)行控制,操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實驗室中。1、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,PID控溫方式。
2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
4、已通過CE認(rèn)證。
產(chǎn)品名稱 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 | |
產(chǎn)品型號 | VTC-16-3HD | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:不需要 | |
主要參數(shù) | 1、輸入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵) 2、輸出功率:1600VDC 50mA(最大電流) 3、石英罩:?160mm×120mm 4、樣品臺:?50mm(可選購加熱型樣品臺,最高溫度可到500℃;最長濺射時間不可超過5min) 5、真空泵:120L/M旋片式真空泵6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni, 不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、Al、Zn、C等 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:360mm×350mm×3600mm; | |
可選配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 |