三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司是一家專(zhuān)注于精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，并致力于為科學(xué)研究、創(chuàng)新研發(fā)及精密儀器、設(shè)備的制造等提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案與集成，滿(mǎn)足市場(chǎng)對(duì)精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專(zhuān)業(yè)制造商。

公司核心技術(shù)集精密傳感、精密驅(qū)動(dòng)、精密機(jī)械、精密控制、精密集成等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體，綜合技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平。

主要產(chǎn)品：納米級(jí)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系列；微米級(jí)宏動(dòng)系列；納米位移電容傳感器系列；宏微運(yùn)動(dòng)集成系統(tǒng)

納米定位平臺(tái)

納米運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)；通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大；經(jīng)超精密電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制；在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí)，可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。

三英精控納米臺(tái)特點(diǎn)
平：得益于*的硬件設(shè)計(jì)，有效地減少三維偶聯(lián)影響，保證納米臺(tái)全行程的平整度。

準(zhǔn)：電容傳感器的應(yīng)用及*的控制模式和算法，保證納米臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。

穩(wěn)：優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及優(yōu)良的電容傳感器特性，保證了納米臺(tái)長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性。

NS-Z700-01超大行程Z軸物鏡定位臺(tái) 壓電平臺(tái) 典型應(yīng)用：

晶圓切割

顯微成像

微電子精密加工

物鏡調(diào)焦及掃描

可定制不同的物鏡接口

技術(shù)參數(shù)：

注：閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。

如有客戶(hù)需求，三英精控可以對(duì)納米位移運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制，以提供及時(shí)、滿(mǎn)意的技術(shù)支持與服務(wù)。

 超大行程Z軸物鏡定位臺(tái) 壓電平臺(tái)