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NS-Z150-01 重載Z軸納米定位臺(tái) 壓電平臺(tái) 電控位移臺(tái)

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三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司是一家專(zhuān)注于超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和產(chǎn)品的開(kāi)發(fā),并致力于為科學(xué)研究、創(chuàng)新研發(fā)及儀器、設(shè)備的制造等提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案與集成,滿足市場(chǎng)對(duì)超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專(zhuān)業(yè)制造商。

  三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司在納米運(yùn)動(dòng)控制專(zhuān)家須穎博士的之下,秉承“創(chuàng)新、精益制造”的宗旨和“打造中國(guó)制造的品牌”的目標(biāo),力主*國(guó)內(nèi)技術(shù)空白、打破西方對(duì)中國(guó)的技術(shù)壁壘,為中國(guó)制造裝備產(chǎn)業(yè)升級(jí)、轉(zhuǎn)型提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

  三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司在納米運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)方面具有多年技術(shù)和經(jīng)驗(yàn),并具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。公司核心技術(shù)集精密傳感、精密驅(qū)動(dòng)、精密機(jī)械、精密控制、精密集成等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體,整體技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平。公司產(chǎn)品涵蓋大行程高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、納米和亞納米運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)、精密運(yùn)動(dòng)控制集成系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。

納米平臺(tái),精密平移臺(tái),旋轉(zhuǎn)臺(tái),壓電平臺(tái),電容傳感器,擺鏡,快反鏡

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品種類(lèi) 電動(dòng)
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,綜合

 

三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司是一家專(zhuān)注于精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和產(chǎn)品的開(kāi)發(fā),并致力于為科學(xué)研究、創(chuàng)新研發(fā)及精密儀器、設(shè)備的制造等提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案與集成,滿足市場(chǎng)對(duì)精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專(zhuān)業(yè)制造商。

公司核心技術(shù)集精密傳感、精密驅(qū)動(dòng)、精密機(jī)械、精密控制、精密集成等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體,綜合技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平。

主要產(chǎn)品:納米級(jí)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系列;微米級(jí)宏動(dòng)系列;納米位移電容傳感器系列;宏微運(yùn)動(dòng)集成系統(tǒng)

 

納米定位平臺(tái)

納米運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng),其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng);通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng),再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制;在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí),可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。


三英精控納米臺(tái)特點(diǎn)
平:得益于*的硬件設(shè)計(jì),有效地減少三維偶聯(lián)影響,保證納米臺(tái)全行程的平整度。

準(zhǔn):電容傳感器的應(yīng)用及*的控制模式和算法,保證納米臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。

穩(wěn):優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及優(yōu)良的電容傳感器特性,保證了納米臺(tái)長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性。


NS-Z150-01重載Z軸納米定位臺(tái) 壓電平臺(tái) 電控位移臺(tái)

典型應(yīng)用

顯微成像

光學(xué)計(jì)量

激光加工

高精度自動(dòng)對(duì)焦

物鏡轉(zhuǎn)塔調(diào)整及掃描

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

NS-Z150-01

運(yùn)動(dòng)軸

Z

傳感器類(lèi)型

電容式

閉環(huán)行程( μm )

150

閉環(huán)分辨率( nm )

0.8

線性度( % )

0.02

有負(fù)載下諧振頻率(3kg)( Hz )

140

無(wú)負(fù)載下諧振頻率( Hz )

700

端口

D-sub15

材料

鋁合金

負(fù)載( kg )

5

自重( kg )

0.95

尺寸( mm )

106 x 85 x 40

適配控制器

SC100-A/SC300-1/SC400-1

注:閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。

 

尺寸圖.png

如有客戶需求,三英精控可以對(duì)納米位移運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,以提供及時(shí)、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。

 重載Z軸納米定位臺(tái) 壓電平臺(tái) 電控位移臺(tái)

 



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