德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術(shù)

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量

產(chǎn)品參數(shù)：

型號：P-541.ZCD

主動軸：Z

集成傳感器：電容式

-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：–毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：–毫弧度

Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復(fù)精度：<2納米

θX、θY向上的重復(fù)精度：–微弧度

θX、θY向上的串?dāng)_（Z向運動）：±15微弧度

產(chǎn)品參數(shù)：

型號：P-541.TCD

主動軸：Z,θX,θY

集成傳感器：電容式

-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：±0.6毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.4毫弧度

Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.08微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復(fù)精度：<2納米

θX、θY向上的重復(fù)精度：0.01微弧度

θX、θY向上的串?dāng)_（Z向運動）：±15微弧度

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD