KT-Z1650PVD mini型磁控濺射儀
- 公司名稱 鄭州科探儀器設備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號 KT-Z1650PVD
- 產地 鄭州
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/3/27 15:04:05
- 訪問次數(shù) 1873
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靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 靶材尺寸 | 50mm |
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產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 面議 |
濺射氣體 | 根據(jù)需求通氣 | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 樣品臺尺寸 | 50mm |
應用領域 | 綜合 |
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD,該設備集磁控濺射與離子鍍膜技術為一體,對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩(wěn)定性提供了解決方案。設備具有外形美觀、結構緊湊、占地面積小、自動化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護等特點。設備可適用于不銹鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃、陶瓷等材質;可制備單質金屬層如鈦、鉻、銀、銅或金屬化合物膜層如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等;可實現(xiàn)深黑色、爐內金、玫瑰金、仿金、鋯金、寶石藍、亮銀色等顏色。
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數(shù);
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |