Smartproof 5擁有業(yè)內(nèi)*佳的高分辨率和高速度共聚焦系統(tǒng)，的轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)有效地減少獲取分析結(jié)果的時間。集成和穩(wěn)固設(shè)計確保無附加防振設(shè)備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用，的操作者模式適合工業(yè)生產(chǎn)的批量檢測任務(wù)，能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她**端的光學(xué)技術(shù)和基于用戶的設(shè)計理念，再次向世界證明了光學(xué)品牌的地位。

　　產(chǎn)品特點

　　l高分辨

　　由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統(tǒng)光學(xué)分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達到120 nm。

　　l高測量精度

　　同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎(chǔ)上，Smartproof 5配備了精度高、重復(fù)性好的Z軸自動步進裝置，*小步進精度達到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

　　l高速掃描

　　傳統(tǒng)共聚焦采用點掃描成像，速度較慢;而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描，成像速度大大提高，*快的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率)，可以說瞬間即可得到測量結(jié)果，大大提高工作效率。

　　l真實色彩還原

　　還可使用三色LED光源，能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。

　　技術(shù)參數(shù)：

　　1. 波長：405nm

　　2. 分辨率：120nm

　　3. Z軸*小步進精度：1nm

　　4. 成像速度：常規(guī)共聚焦的2-3倍

　　5. 物鏡：2.5x-100x

　　6. 高度掃描范圍：高達5mm

　　7. 載物臺：150mm×150mm超大行程

　　8. 控制系統(tǒng)：Smartproof 5應(yīng)用軟件

　　9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測量：

　　2D：距離，高度，角度，構(gòu)造元素，基于ISO 4287的輪廓粗糙度

　　3D：水平距離，3D距離，高度，角度，構(gòu)造點，面積，體積，基于ISO 25178的面粗糙度

　　其他：水平調(diào)整，形狀去除，濾波，去噪，報告