DKG-TGV301 示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監(jiān)測系統
參考價 | ¥ 600000 |
訂貨量 | ≥1 臺 |
- 公司名稱 北京杜克泰克科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DKG-TGV301
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/3/27 11:08:35
- 訪問次數 4301
聯系方式:唐麗18518707030 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,農業(yè),石油,能源 |
---|---|---|---|
1 | 1 |
示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監(jiān)測系統概述
隨著能量效率的提高,以及排氣通風設施的物理限制變得更加明顯,半導體設備的排氣通風的優(yōu)化變得越來越重要。設備的排氣通風設計不合理,可能會造成操作人員的傷亡,引起設備乃至整個工廠的燒毀。
半導體行業(yè)需要測量機臺通風效率,滿足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標準。
SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導體裝備通風效率。
SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,對SF6檢測儀的檢測精度要求較高。
檢測方案
高靈敏度的光聲光譜氣體檢測系統,是一套用于在線實時測量示蹤氣體濃度變化,從而評估通風效率的準確、可靠、高效的解決方案。
光聲光譜氣體分析儀可以同時檢測最多9種氣體和水汽,檢測氣體種類是從一個超過300種的氣體數據庫中由用戶選擇。除了SF6等示蹤氣體之外,還可以同時檢測室內其它的氣體濃度,比如CO2、甲醛、苯系物等VOC,為評價半導體機臺通風效率提供更多的數據支持。
整個測量系統由光聲光譜氣體檢測儀、多點采樣器、專用軟件組成;在用戶要求的情況下,還可以集成釋放裝置MFC,管路等一體化解決方案。
示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監(jiān)測系統特性
光聲光譜法原理,懸臂梁探測技術
可同時測量SF6等多種示蹤氣體及VOC
檢測限低,測量精度高(ppb)
測量響應快
多點采樣器,可擴展12-64個采樣點
無需預處理、無耗材、無載氣
可定制釋放裝置和管路
應用
半導體制造設備通風性能檢測(國際半導體協會SEMI S6標準)
SF6泄露檢測
相關分類
- 煙氣分析儀
- 甲醛分析儀
- 粉塵測定儀/粉塵儀
- 紅外線氣體分析儀
- 多組分氣體分析儀
- 一氧化碳分析儀
- 二氧化碳分析儀
- 氨氣分析儀/氨分析儀
- 汽車尾氣分析儀
- 有毒有害氣體監(jiān)測儀
- 臭氧檢測儀
- 煙氣/大氣重金屬在線分析儀
- 高純氣/特氣分析系統
- VOC檢測儀/TVOC檢測儀
- 臭氧分析儀(O3)
- 熱導式氣體分析儀
- CO、SO2、HCL、NOX、空氣檢測儀
- PM2.5/PM10/PM1/TSP大氣顆粒物監(jiān)測儀
- 甲烷/非甲烷烴檢測儀
- 氮氧化物分析儀(NOX)
- 油煙檢測儀
- 惡臭測定儀
- 粉塵采樣器
- 氣體采樣器/大氣采樣器
- 粒子計數器
- 煙塵采樣器、煙氣采樣器
- 顆粒物采樣器
- 零氣發(fā)生器
- TSP采樣器
- 空氣微生物采樣器
- PM2.5采樣器
- PM10采樣器
- 粗、細顆粒物雙道采樣器
- 二噁英采樣儀/二噁英采樣器
- 酸雨采樣器
- 激光雷達
- 太陽光度計
- 塵量分析儀
- 氣體稀釋儀
- 煙度計
- 氣溶膠
- 氣體在線自動監(jiān)測系統
- 灰霾監(jiān)測系統
- 空氣質量自動監(jiān)測系統
- 煙氣汞連續(xù)監(jiān)測系統
- 氣體報警器/探測器/傳感器
- 環(huán)境污染事故應急監(jiān)測儀器
- 溫室氣體監(jiān)測儀
- 蘇瑪罐采樣器
- 揚塵監(jiān)測儀
- 降水/降塵自動采樣監(jiān)測儀
- 煙氣汞采樣器
- 氨逃逸在線監(jiān)測系統
- 粒徑譜儀