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青島明華電子儀器有限公司

化工儀器網>產品展廳>環(huán)境監(jiān)測儀器>氣體檢測儀>其它氣體檢測>DKG-TGV301 示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監(jiān)測系統

DKG-TGV301 示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監(jiān)測系統

參考價 600000
訂貨量 ≥1
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       北京杜克泰克科技有限公司,是一家專注于痕量級微量級氣體、液體、固體等介質含量分析的科技公司,尤其是光聲光譜技術(PAS)、傅里葉紅外光譜技術(FTIR)、紫外差分吸收光譜等光電技術的應用,致力于環(huán)境監(jiān)測、半導體特氣、電力能源、石油天然氣、航空航天、催化材料、農林畜牧、生態(tài)研究等領域的ppm,ppb,ppt級微量氣體分析與測量,并提供相應的氣體分析解決方案。


       為各大高校、科研院所、國有大型企業(yè)、高科技企業(yè)、檢驗監(jiān)督等單位提供可靠準確的測試測量產品與服務。主要產品有:溫室氣體通量觀測系統、煤自燃監(jiān)測系統、潔凈室AMC空氣分子污染物檢測系統、溫室氣體通量觀測系統、痕量級多氣體分析儀、微量氨氣分析儀等。

 

 

 

光聲光譜氣體分析儀,便攜溶解氧分析儀,沼氣分析儀,砂石監(jiān)測儀,溫室氣體分析儀

產地類別 國產 應用領域 環(huán)保,化工,農業(yè),石油,能源
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示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監(jiān)測系統概述

隨著能量效率的提高,以及排氣通風設施的物理限制變得更加明顯,半導體設備的排氣通風的優(yōu)化變得越來越重要。設備的排氣通風設計不合理,可能會造成操作人員的傷亡,引起設備乃至整個工廠的燒毀。

半導體行業(yè)需要測量機臺通風效率,滿足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標準。

SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導體裝備通風效率。

SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,對SF6檢測儀的檢測精度要求較高。



檢測方案

高靈敏度的光聲光譜氣體檢測系統,是一套用于在線實時測量示蹤氣體濃度變化,從而評估通風效率的準確、可靠、高效的解決方案。

光聲光譜氣體分析儀可以同時檢測最多9種氣體和水汽,檢測氣體種類是從一個超過300種的氣體數據庫中由用戶選擇。除了SF6等示蹤氣體之外,還可以同時檢測室內其它的氣體濃度,比如CO2、甲醛、苯系物等VOC,為評價半導體機臺通風效率提供更多的數據支持。

整個測量系統由光聲光譜氣體檢測儀、多點采樣器、專用軟件組成;在用戶要求的情況下,還可以集成釋放裝置MFC,管路等一體化解決方案。


示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監(jiān)測系統特性

  • 光聲光譜法原理,懸臂梁探測技術

  • 可同時測量SF6等多種示蹤氣體及VOC

  • 檢測限低,測量精度高(ppb)

  • 測量響應快

  • 多點采樣器,可擴展12-64個采樣點

  • 無需預處理、無耗材、無載氣

  • 可定制釋放裝置和管路


應用

  • 半導體制造設備通風性能檢測(國際半導體協會SEMI S6標準)

  • SF6泄露檢測




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