化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>HMPS-2060SP 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MPCVD爐
HMPS-2060SP 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MPCVD爐
- 公司名稱 成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HMPS-2060SP
- 產(chǎn)地 四川成都雙流區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2022/4/21 15:50:50
- 訪問次數(shù) 466
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 微波加熱 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 儀器種類 | 真空爐 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子,冶金,綜合 | 最大功率 | 6000kW |
功率 | 6kW | 頻率 | 2450MHz |
生長尺寸 | 2英寸 |
【MPCVD培育鉆石】HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及MPCVD設(shè)備生產(chǎn)、具有多項自主知識產(chǎn)權(quán)……,我司生產(chǎn)的這款型號為HMPS-2060SP的微波等離子體CVD設(shè)備(CVD鉆石生長設(shè)備)具有以下優(yōu)勢特點:
. 采用沃特塞恩第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源;上饋式圓柱型放電腔。
. 性能*,安全、可靠性強、重現(xiàn)性好,操作簡便。
. 多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護(hù)。
應(yīng)用范圍
高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長。
多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長等。
適合光學(xué)、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。
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