KT-Z1650PVD 小型離子濺射儀 鄭州科探儀器
參考價 | ¥ 36200 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號 KT-Z1650PVD
- 產(chǎn)地 真空
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/3/27 15:04:34
- 訪問次數(shù) 1524
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靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 | 靶材尺寸 | 50mm |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
濺射氣體 | 根據(jù)需求氣體 | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 樣品臺尺寸 | φ50mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
小型離子濺射儀 鄭州科探儀器KT-1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。
小型離子濺射儀 鄭州科探儀器KT-1650PVD 通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
技術(shù)參數(shù);
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |