科研 | 探針臺(tái) |
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位移探針廣泛用于光刻器件的高低溫光電測試,可用于IV、介電常數(shù)、霍爾效應(yīng)、射頻、低溫電路等測試。可拓展低溫溫控和真空管路模塊,實(shí)現(xiàn)液氦溫度測量。
位移探針臺(tái)的相關(guān)參數(shù):
TS600E-OE | |||
制冷方式 | 無 | 正面觀察窗口大小 | φ41mm |
溫度范圍(℃) | -196到600℃ | 探針類型 | 探針后端XYZ軸方向位置可調(diào),位移精度1um,位移范圍±6mm |
顯示精度(℃) | 0.1 | 探針材質(zhì) | 鎢鋼或鈹銅(探針針尖1um) |
控溫精度 | 0.1℃ | 探針數(shù)量 | 四個(gè)(可拓展為6個(gè)) |
樣品區(qū)域 | 30*35mm | 外觀尺寸 | 410*410*80mm |
最大加熱速率 | 50℃/min | 腔體凈重 | 5Kg |
最大冷卻速率 | -40℃/min | 備注 | 探針前端水平角度和長度可調(diào) |
顯微鏡的相關(guān)參數(shù):
目鏡 | 高眼點(diǎn)廣角目鏡WF20X/10mm |
物鏡 | 內(nèi)置連續(xù)變倍物鏡0.7-4.5倍 |
觀察頭 | 雙目觀察頭,45度傾斜,瞳孔距調(diào)節(jié)范圍0.7-4.5倍 |
放大倍率 | 連續(xù)變倍7-90X |
照明光源 | 可調(diào)節(jié)亮度LED光源 |
工作距離 | 100mm |
調(diào)節(jié)范圍 | 立桿高度380mm,升降范圍50mm |
圖1 TS600E-OE尺寸圖 圖2 位移探針臺(tái)樣品觀測圖
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