R-50 方阻測(cè)試儀
- 公司名稱(chēng) 上海納騰儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) R-50
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/6/17 17:12:32
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 2865
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 檢測(cè)參數(shù) | 多參數(shù) |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 臺(tái)式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車(chē),電氣,綜合 |
KLA薄膜電阻測(cè)量技術(shù)方阻測(cè)試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。
Filmetrics的R50系列方塊電阻測(cè)量?jī)x器可測(cè)量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍電阻率，包括：
半導(dǎo)體晶圓基板
玻璃基板
塑料（柔性）基材
PCB圖案特征
太陽(yáng)能電池
平板顯示層和圖案化特征
金屬箔
二、方阻測(cè)試儀主要功能
l 技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
測(cè)量精度： +/- 1%；
重復(fù)度： 小于 0.2%；
樣品圖中無(wú)*的測(cè)量點(diǎn)位，自定義測(cè)量Recipe，可線(xiàn)性、矩形、
極坐標(biāo)以及自定義等。
Model | Description |
R50-4PP | 四探針測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-EC | 非接觸渦流測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-200-4PP | 四探針測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量 |
R50-200-EC | 非接觸渦流測(cè)試 自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量 |
三、應(yīng)用
支持廣泛的測(cè)量，包括但不限于以下各項(xiàng)：
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、摻雜濃度等。
相關(guān)分類(lèi)
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