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CVD氣相沉積系統(tǒng) 化學(xué)氣相 沉積爐
- 公司名稱 上海高科達(dá)電爐有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2022/1/17 16:18:17
- 訪問次數(shù) 893
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電爐，馬弗爐，氣氛爐，真空爐，管式爐，CVD氣相沉積系統(tǒng)，PECVD氣相沉積系統(tǒng)，箱式爐，碳管爐，鎢絲爐，隧道爐，臺車爐，烘箱，氫氣爐，升降爐，真空中頻熔煉爐，熱壓爐，氣淬爐，油淬爐，氣壓爐
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 含鉬電阻絲 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 內(nèi)部尺寸 | 80x450mm | 升溫速度（達(dá)到最高溫） | 20℃/min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,地礦,能源,電子 |
| 最高溫度 | 1200℃ |
CVD氣相沉積系統(tǒng) 化學(xué)氣相 沉積爐
產(chǎn)品概述
GKD-CVD系列CVD氣相沉積系統(tǒng) 化學(xué)氣相 沉積爐是由管式爐加熱系統(tǒng)，多通道混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成；溫度可以達(dá)到1700度，可以做單溫區(qū)，雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)；混氣系統(tǒng)流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)量流量計或者浮子流量計，混氣路數(shù)有2路，3路，4路，5路等相混合，可以將多種氣體進(jìn)行精確地混氣后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)的反應(yīng)室中反應(yīng)。管式爐部分采用上下半圓形結(jié)構(gòu)組成爐膛結(jié)構(gòu)，保溫性能好，溫度均勻性好，是制備半導(dǎo)體材料研究中廣泛用的設(shè)備。做多溫區(qū)時，可作為化學(xué)氣相傳輸設(shè)備，低溫高溫分開控制，實現(xiàn)良好的傳輸效果
設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)尺寸
型號 | 爐管直徑 | 加熱區(qū)長度 | 功率 | 額定溫度 | 爐管 | 熱電偶 | 加熱元件 |
40mm | 300mm | 3 KW | 1200℃ 1400℃ 1700℃ | 石英管 剛玉管 | K型 S型 B型 | 高純含鉬電阻絲
硅碳棒 硅鉬棒 | |
60mm | 300mm | 3 KW | |||||
80mm | 300mm | 5 KW | |||||
100mm | 300mm | 5 KW | |||||
120mm | 300mm | 6 KW | |||||
40mm | 400mm | 3 KW | |||||
60mm | 400mm | 3 KW | |||||
80mm | 400mm | 5 KW | |||||
100mm | 400mm | 5 KW | |||||
120mm | 400mm | 6 KW |
更多規(guī)格可定制 上海高科達(dá)電爐 1 3 9 1 8 6 8 3 5 9 4
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | CVD氣相沉積系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號 | GKD-CVD |
結(jié) 構(gòu) | 爐殼采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，使得外表面溫度低于50℃ 爐膛采用*真空吸附成型的多晶氧化鋁陶瓷纖維，節(jié)能環(huán)保，減少熱量的損失，爐膛內(nèi)表面涂有進(jìn)口的氧化鋁陶瓷涂層，有效提高加熱效率，同時可以延長設(shè)備的使用壽命。 |
混氣系統(tǒng) | 1-5路浮子流量計（可選質(zhì)量流量計）配置在移動工作臺上，可同時通入1-5路不同的氣體，1-5通道自動控制，精度0.02%，數(shù)字顯示 內(nèi)置混氣罐，底部裝有泄廢液口，每路氣體管路均配有逆止閥 MFC 1 范圍 0-100sccm MFC 2和3 范圍 0-500sccm 進(jìn)氣接口 1/4NPS 出氣接口1/4NPS |
真空系統(tǒng) | 一個雙旋片機(jī)械真空泵安裝在移動架內(nèi)，通過此真空泵，真空度可以達(dá)到5x10^-2 torr 在移動架內(nèi)安裝四級泵（配分子泵），可以使得真空度達(dá)到7x10^-5Pa LED數(shù)字式真空顯示計（測量范圍0.1mtorr~850torr） |
電 源 | 208-240V 50/60Hz |
功 率 | 4kw |
額定溫度 | 1200℃（可做1400℃或1700℃） |
工作溫度 | 1100（1300℃或1600℃） |
升溫速率 | 0-20℃/min |
加熱區(qū)長度 | 400mm（可根據(jù)客戶需求定制） |
多溫區(qū) | 支持（具體請咨詢業(yè)務(wù)人員） |
控溫方式 | 51段PID智能微電腦可編程控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 高純含鉬電阻絲 |
爐管尺寸 | φ80x1200mm（根據(jù)需要定制） |
測溫方式 | K型熱電偶 |
爐管材質(zhì) | 石英管（大于1200℃用高純剛玉管） |
爐膛材料 | 一層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強(qiáng)度，又確保具有良好的隔熱效果。 二層: 1430型多晶氧化鋁陶瓷纖維。 |
溫控保護(hù) | 具有超溫保護(hù)和斷偶預(yù)警功能 |
可通氣體 | 氮?dú)?、氬氣、二氧化碳、空氣、水蒸氣等非可燃性氣體 |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配置不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有數(shù)字真空顯示計，連接閥門通過真空泵，壓力可以達(dá)到5x10^-2 torr，壓升率6mtorr/min |
可選配件 | 爐管，不銹鋼密封法蘭，熱電偶，耐高溫手套，坩堝鉗，密封圈 |
質(zhì)保期 | 1年質(zhì)保，終身維護(hù) |
耗材 | 爐管，密封圈，熱電偶，加熱元件 |
產(chǎn)品用途
常用 于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料、提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機(jī)薄膜材料，以及大多數(shù)金屬材料和合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等CVD工藝實驗。是高等院校，科研院所和工況企業(yè)進(jìn)行氣氛燒結(jié)，氣氛還原、CVD實驗的理想設(shè)備。
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