化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備> 1200℃ CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)單晶制備管式爐
1200℃ CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)單晶制備管式爐
- 公司名稱(chēng) 上海高科達(dá)電爐有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2022/1/5 17:29:50
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電爐，馬弗爐，氣氛爐，真空爐，管式爐，CVD氣相沉積系統(tǒng)，PECVD氣相沉積系統(tǒng)，箱式爐，碳管爐，鎢絲爐，隧道爐，臺(tái)車(chē)爐，烘箱，氫氣爐，升降爐，真空中頻熔煉爐，熱壓爐，氣淬爐，油淬爐，氣壓爐
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 加熱方式 | 含鉬電阻絲 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 內(nèi)部尺寸 | 60x300mm | 升溫速度（達(dá)到最高溫） | 20℃/min |
| 儀器種類(lèi) | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,電子 |
| 最大功率 | 2000kW | 最高溫度 | 1200℃ |
1200℃ CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)單晶制備管式爐
產(chǎn)品概述
GKD-CVD系列1200℃ CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)單晶制備管式爐是由管式爐加熱系統(tǒng)，多通道混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成；溫度可以達(dá)到1700度，可以做單溫區(qū)，雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)；混氣系統(tǒng)流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)量流量計(jì)或者浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)有2路，3路，4路，5路等相混合，可以將多種氣體進(jìn)行精確地混氣后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)的反應(yīng)室中反應(yīng)。
產(chǎn)品用途
廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料、提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無(wú)機(jī)薄膜材料，以及大多數(shù)金屬材料和合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等CVD工藝實(shí)驗(yàn)。是高等院校，科研院所和工況企業(yè)進(jìn)行氣氛燒結(jié)，氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)的理想設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱(chēng) | CVD氣相沉積系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號(hào) | GKD-CVD |
結(jié) 構(gòu) | 爐殼采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，使得外表面溫度低于50℃ 爐膛采用*真空吸附成型的多晶氧化鋁陶瓷纖維，節(jié)能環(huán)保，減少熱量的損失，爐膛內(nèi)表面涂有進(jìn)口的氧化鋁陶瓷涂層，有效提高加熱效率，同時(shí)可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。 |
混氣系統(tǒng) | 1-5路浮子流量計(jì)（可選質(zhì)量流量計(jì)）配置在移動(dòng)工作臺(tái)上，可同時(shí)通入1-5路不同的氣體，1-5通道自動(dòng)控制，精度0.02%，數(shù)字顯示 內(nèi)置混氣罐，底部裝有泄廢液口，每路氣體管路均配有逆止閥 MFC 1 范圍 0-100sccm MFC 2和3 范圍 0-500sccm 進(jìn)氣接口 1/4NPS 出氣接口1/4NPS |
真空系統(tǒng) | 一個(gè)雙旋片機(jī)械真空泵安裝在移動(dòng)架內(nèi)，通過(guò)此真空泵，真空度可以達(dá)到5x10^-2 torr 在移動(dòng)架內(nèi)安裝四級(jí)泵（配分子泵），可以使得真空度達(dá)到7x10^-5Pa LED數(shù)字式真空顯示計(jì)（測(cè)量范圍0.1mtorr~850torr） |
電 源 | 208-240V 50/60Hz |
功 率 | 4kw |
額定溫度 | 1200℃（可做1400℃或1700℃） |
工作溫度 | 1100（1300℃或1600℃） |
升溫速率 | 0-20℃/min |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 400mm（可根據(jù)客戶(hù)需求定制） |
多溫區(qū) | 支持（具體請(qǐng)咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員） |
控溫方式 | 51段PID智能微電腦可編程控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 高純含鉬電阻絲 |
爐管尺寸 | φ60x1200mm |
測(cè)溫方式 | K型熱電偶 |
爐管材質(zhì) | 石英管（大于1200℃用高純剛玉管） |
爐膛材料 | 一層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強(qiáng)度，又確保具有很好的隔熱效果。 |
溫控保護(hù) | 具有超溫保護(hù)和斷偶預(yù)警功能 |
可通氣體 | 氮?dú)狻鍤?、二氧化碳、空氣、水蒸氣等非可燃性氣體 |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配置不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有數(shù)字真空顯示計(jì)，連接閥門(mén)通過(guò)真空泵，壓力可以達(dá)到5x10^-2 torr，壓升率6mtorr/min |
可選配件 | 爐管，不銹鋼密封法蘭，熱電偶，耐高溫手套，坩堝鉗，密封圈 |
質(zhì)保期 | 1年質(zhì)保，終身維護(hù) |
耗材 | 爐管，密封圈，熱電偶，加熱元件 |
設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)尺寸
型號(hào) | 爐管直徑 | 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 額定功率 | 額定溫度 | 爐管 | 熱電偶 | 加熱元件 |
40mm | 300mm | 3 KW | 1200℃ 1400℃ 1700℃ | 石英管 剛玉管 | K型 S型 B型 | 高純含鉬電阻絲
硅碳棒 硅鉬棒 | |
60mm | 300mm | 3 KW | |||||
80mm | 300mm | 5 KW | |||||
100mm | 300mm | 5 KW | |||||
120mm | 300mm | 6 KW | |||||
40mm | 400mm | 3 KW | |||||
60mm | 400mm | 3 KW | |||||
80mm | 400mm | 5 KW | |||||
100mm | 400mm | 5 KW | |||||
120mm | 400mm | 6 KW |
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