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GSL-CKJS-450-B1 磁控濺射儀

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產(chǎn)品標(biāo)簽

離子濺射高真空濺射

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上海添時科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機,電池測試恒溫箱,金剛石線切割機,磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實驗室科研儀器設(shè)備、實驗室耗材與試劑、實驗室設(shè)計、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽”贏得各地市場,各個領(lǐng)域的好評和歡迎。

未來,公司將引進(jìn)和代理更多國內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運營,樸素而先進(jìn)的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子
    磁控濺射儀主要特點:

    1、真空度高。

    2、可制備多種薄膜,金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等,應(yīng)用廣泛。

    3、體積小,操作簡便。

    4、清理安裝便捷。

    5、控制可選一體化觸摸屏控制

    技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱 GSL-CKJS-450-B1磁控濺射儀
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用.
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氮/氬氣(純度99.99%以上),需自備實驗氣體氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、場地:設(shè)備尺寸3500×1600mm,承重1000kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù) 1、主濺射室尺寸:Ø450×355mm筒形真空室
2、主濺射室真空度:5×10-5Pa
3、永磁靶3套,靶材尺寸φ2″,各靶射頻與直流濺射兼容(其中1個靶可濺射鐵磁材料),靶與樣品距離90-110mm可調(diào)
4、三靶共濺,三個靶可共同折向樣品中心,距離40-80mm可調(diào)
5、基片加熱與水冷獨立工作,加熱爐可與水冷樣品臺可互換,加熱工位最高溫度600℃±1℃
6、樣品尺寸:φ1″
7、樣品臺可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5-15轉(zhuǎn)/分
8、基片可加-200V負(fù)偏壓
9、公轉(zhuǎn)6工位樣品臺,可一次性安裝6片φ1″基片
拆下水冷加熱樣品臺可換上6工位樣品臺,其中5個工位為自然冷卻工位,1個加熱工位,加熱工位溫度600℃±1℃
產(chǎn)品規(guī)格 整機尺寸:1500×900mm×2000mm;
標(biāo)準(zhǔn)配件 1、電源控制系統(tǒng)1套
2、真空獲得系統(tǒng)1套
3、真空測量裝置1套


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