VTC-600-2HD-1000 雙靶磁控濺射儀
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) VTC-600-2HD-1000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/19 14:53:02
- 訪問次數(shù) 4289
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紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,交通 |
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雙靶磁控濺射儀主要特點(diǎn):
1、配置兩個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡(jiǎn)便。
技術(shù)參數(shù):
1、配置兩個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡(jiǎn)便。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | VTC-600-1HD單靶磁控濺射儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-600-1HD | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | |
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) | ||
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥 | ||
4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 | ||
5、通風(fēng)裝置:需要 | ||
主要參數(shù) | 1、輸入電源:220V/50Hz | |
2、濺射靶數(shù)量:2 | ||
3、靶槍冷卻方式:水冷 | ||
4、極限真空度:7.4E-5pa | ||
5、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm | ||
6、真空系統(tǒng):VRD-16機(jī)械泵 FF-100/150渦輪分子泵 | ||
7、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣) | ||
8、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(jì)(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制 | ||
9、濺射靶規(guī)格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) | ||
10、樣品臺(tái):Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃) | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 主機(jī)尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm |