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VTC-600-2HD 雙靶磁控濺射儀

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產(chǎn)品標(biāo)簽

磁控濺射磁控濺射儀

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上海添時科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機,電池測試恒溫箱,金剛石線切割機,磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實驗室科研儀器設(shè)備、實驗室耗材與試劑、實驗室設(shè)計、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽”贏得各地市場,各個領(lǐng)域的好評和歡迎。

未來,公司將引進和代理更多國內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運營,樸素而先進的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點儀

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子
    雙靶磁控濺射儀主要特點:

    1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。

    2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

    3、體積小,操作簡便。

    技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱 VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀
產(chǎn)品型號 VTC-600-2HD
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù) 1、電源電壓:220V  50Hz
2、功率:<2KW(不含真空泵)
3、極限真空度:9.0×10-4Pa
4、樣品臺加熱溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實際需要提升溫度)
5、靶槍數(shù)量:2個(可選配其他數(shù)量)
6、靶槍冷卻方式:水冷
7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
8、直流濺射功率:500W;射頻濺射功率:300W。(靶電源種類可選,可選擇兩個直流電源,也可選擇兩個射頻電源,或選則一個直流一個射頻電源)
9、載樣臺:Ø140mm,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,以實現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。
10、載樣臺轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
11、工作氣體:Ar等惰性氣體
12、進氣氣路:質(zhì)量流量計控制2路進氣,一路為100SCCM,另一路為200SCCM。
產(chǎn)品規(guī)格

1、主機尺寸:500mm×560mm×660mm
2、整機尺寸:1300mm×660mm×1200mm
3、真空室規(guī)格:φ300×300mm
4、重量:160kg

標(biāo)準(zhǔn)配件 1直流電源控制系統(tǒng)1套
2射頻電源控制系統(tǒng)1套
3膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)1套
4分子泵(德國進口)1臺
5冷水機1臺
6冷卻水管(Ø6mm)4根
可選配件 金、銦、銀、鉑等各種靶材

 

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