VTC-600-2HD 雙靶磁控濺射儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海添時科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 VTC-600-2HD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/8/19 14:46:39
- 訪問次數(shù) 2563
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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雙靶磁控濺射儀主要特點:
1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
技術(shù)參數(shù):
1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀 | |
產(chǎn)品型號 | VTC-600-2HD | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | |
主要參數(shù) | 1、電源電壓:220V 50Hz 2、功率:<2KW(不含真空泵) 3、極限真空度:9.0×10-4Pa 4、樣品臺加熱溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實際需要提升溫度) 5、靶槍數(shù)量:2個(可選配其他數(shù)量) 6、靶槍冷卻方式:水冷 7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) 8、直流濺射功率:500W;射頻濺射功率:300W。(靶電源種類可選,可選擇兩個直流電源,也可選擇兩個射頻電源,或選則一個直流一個射頻電源) 9、載樣臺:Ø140mm,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,以實現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。 10、載樣臺轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 11、工作氣體:Ar等惰性氣體 12、進氣氣路:質(zhì)量流量計控制2路進氣,一路為100SCCM,另一路為200SCCM。 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、主機尺寸:500mm×560mm×660mm | |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1直流電源控制系統(tǒng)1套 2射頻電源控制系統(tǒng)1套 3膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)1套 4分子泵(德國進口)1臺 5冷水機1臺 6冷卻水管(Ø6mm)4根 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |