化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>其它干燥設(shè)備>OTF-1200X-PESDSF-50 雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)-循環(huán)手套箱
OTF-1200X-PESDSF-50 雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)-循環(huán)手套箱
- 公司名稱 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) OTF-1200X-PESDSF-50
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/19 14:01:24
- 訪問次數(shù) 2199
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紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子 |
---|---|---|---|
電源 | AC220,50Hz |
手套箱特點(diǎn):
•真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接;
•兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上,可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果!
加熱爐參數(shù):
•連續(xù)工作溫度:1100℃
•兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序
•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)
•電源:AC220,50Hz 最大功率:3KW
手套箱參數(shù):
•帶有除水系統(tǒng):保持水含量<2ppm
•真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達(dá)10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•氣體進(jìn)出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;
•PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸:
爐體尺寸:1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)
手套箱尺寸:780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)
質(zhì)保:
一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件
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