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OTF-1200X-PESDSF-50 雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)-循環(huán)手套箱

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PECVD

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機(jī),電池測(cè)試恒溫箱,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測(cè)試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測(cè)儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測(cè)繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動(dòng)化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機(jī)械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場,各個(gè)領(lǐng)域的好評(píng)和歡迎。

未來,公司將引進(jìn)和代理更多國內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運(yùn)營,樸素而先進(jìn)的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,能源,電子
電源 AC220,50Hz

    手套箱特點(diǎn):

    •真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接;

    •兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上,可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果!

    加熱爐參數(shù):

    •連續(xù)工作溫度:1100℃

    •兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

    •高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)

    •電源:AC220,50Hz   最大功率:3KW

    手套箱參數(shù):

    •帶有除水系統(tǒng):保持水含量<2ppm

    •真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接

    射頻電源:
 

 

image.png 

    真空系統(tǒng):

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    •真空度可達(dá)10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選):

    •客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

    •流量范圍:

 


image.png 

    •電壓:208-240V,AC,50/60Hz;

    •氣體進(jìn)出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

    •PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

    產(chǎn)品尺寸:

    爐體尺寸:1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)

    手套箱尺寸:780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

    質(zhì)保:

    一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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