FPGAM-EX50LN 窄線寬準分子激光器
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPGAM-EX50LN
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2021/11/2 11:18:08
- 訪問次數 317
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,能源 |
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窄線寬準分子激光器是專業(yè)為光譜學應用設計的窄光譜帶寬準分子激光器,非常適合光刻,激光計量,熒光光譜,拉曼光譜,FBG等應用。
窄線寬準分子激光器采用穩(wěn)定的非選擇性諧振腔提供純凈光譜輸出,例如ArF準分子激光器的帶寬約500pm,我們還可以在諧振腔內插入波長色散元件提供更窄線寬的表現,比如光譜線寬可到0.08pm,具有更好的相干性能。
窄線寬準分子激光器EX50LN采用超級INVAR穩(wěn)定諧振腔技術獲得穩(wěn)定的激光性能,248nm激光的相干長度可達7cm,并且具有良好的指向穩(wěn)定性,非常適合長相干長度的激光激光應用,比如FBG制造.
這款窄線寬準分子激光器采用一系列創(chuàng)新性技術,包括電暈預電離技術,全金屬/陶瓷設計,提供超長靜態(tài)氣體壽命和動態(tài)氣體壽命。這款準分子激光器還采用內置真空泵和鹵素過濾器,不需要額外的真空器件即可獨立工作,
窄線寬準分子激光器可以通過計算機配套軟件控制,軟件可自動控制穩(wěn)定激光輸出,可提示用戶激光器壽命和維護時間。
窄線寬準分子激光器規(guī)格參數EX50LN Specifications
工作物質 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
中心波長 nm | 157 | 193.3 | 248.35 | 308-311 | 351, 533 |
最大能量mJ. <1pm | 2 | 4 | 2 | 2 | |
最大能量mJ. <0.35pm | 1 Line | 0.75 | 2 | ||
波長調諧范圍 pm | +/- 200 | +/-200 | N/A | ||
平均功率@125Hz | 0.30 | .25 | 0.3 | 0.3 | |
平均功率 @250Hz | 0.5/1 | .5/1 | 0.50 | 0.5 | |
平均功率@500Hz | 1/2 | 1/2 | 1.0 | ||
功率穩(wěn)定性 % | Call | <3% | |||
動態(tài)氣體壽命 | 10E6 | 12E6 | 15E6 | 20E6 | 15E6 |
靜態(tài)氣體壽命 (50%脈沖能量) | 10 days | 20 days | 30 days | 90 Days | 30 Days |
脈寬, ns | 14-18 | ||||
光束直徑, mm | 9 X 4 | ||||
發(fā)散角, mRad (全角) | 0.8 X 1.6 | ||||
激光管壽命 | 2-3 Billion Pulses | ||||
窗口壽命 | 200E6 | >500E6 | >500E6 | ||
制冷 | 空氣/水 |
其它窄線寬準分子激光器 EX5ALN Specifications
工作物質 | ArF | KrF |
激光波長, nm | 193 | 248 |
最大能量, mJ | 5 | 15 |
線寬 pm | 25 | 20 |
光束形狀 | 高斯光束 | |
波長調諧 | +/-200pm | +/-200pm |
平均功率W @ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
最大重復頻率. Hz | 25/250 | |
穩(wěn)定性 | <3% 1 Sigma | |
靜態(tài)氣體壽命 50%能量 | 3 days | 10 days |
脈寬 nS | 8 | |
穩(wěn)定性 | <3% One Sigma | |
激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
光束尺寸, mm | 3X 6 | |
發(fā)散角(全角), mRad | 1 X 2 | |
制冷 | AIR | |
抖動 | 2nS | |
重量 | 16kg |
其它窄線寬準分子激光器 EX10AR Specifications
工作物質 | ArF | KrF |
波長, nm | 193nm | 248nm |
最大能量., mJ | 20mJ | 26mJ |
線寬, pm | <20pm | <20pm |
光束形狀 | 高斯光束 | |
波長調諧范圍 | +/-200pm | +/-200pm |
平均功率W@ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
重復頻率 Hz | 25/250 | |
穩(wěn)定性 | <3% 1 Sigma | |
靜態(tài)氣體壽命50%能量 | 3 days | 10 days |
脈寬 nS | 8 | |
穩(wěn)定性 | <3% One Sigma | |
激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
光束尺寸, mm | 3X 6 | |
發(fā)散角(全角), mRad | 1 X 2 | |
制冷 | 空氣 | |
時間抖動 | 2nS One Sigma | |
重量 | 16kg |