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硅片方阻電阻率

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公司成立于2021年,是一家注冊在蘇州、具備技術(shù)的非接觸式半導(dǎo)體檢測分析設(shè)備制造商。公司集研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售于一體,主要攻克國外壟斷技術(shù),替代進口產(chǎn)品,使半導(dǎo)體材料測試設(shè)備國產(chǎn)化。

主要產(chǎn)品:非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀、方阻測試儀、硅片電阻率測試儀、渦流法高低電阻率分析儀、晶錠電阻率分析儀、渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀、遷移率(霍爾)測試儀、少子壽命測試儀,晶圓、硅片厚度測試儀、表面光電壓儀JPV\SPV、汞CV、ECV。碳化硅、硅片、氮化鎵、襯底和外延廠商提供測試和解決方案。

憑借*的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品設(shè)計經(jīng)驗,申請各項知識產(chǎn)權(quán)20余項,已發(fā)展成為中國大陸少數(shù)具有一定國際競爭力的半導(dǎo)體專用設(shè)備提供商,產(chǎn)品得到眾多國內(nèi)外主流半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可,并取得良好的市場口碑。





晶圓電阻率測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率測試儀,少子壽命測試儀

專注于非接觸式半導(dǎo)體計量分析技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn) ,攻克被國外卡脖子技術(shù)。

       產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研以及平板材料測試領(lǐng)域。借助公司*計量分析測試技術(shù),為晶圓、碳化硅、硅片、封裝測試等生產(chǎn)和品質(zhì)監(jiān)控,提供一整套完整測試和解決方案。

晶圓電阻率測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率(霍爾)測試儀,少子壽命測試儀,

一、

晶圓電阻率測試儀

硅片方阻測試儀

渦流法低電阻率分析儀

晶錠電阻率分析儀

非接觸少子壽命

參數(shù)

方阻

電阻率(厚度180um)

方法

探頭量程

1-600Ω/¨

0.018-10.8 Ω?cm

渦流法

探頭性能

動態(tài)重復(fù)性

靜態(tài)重復(fù)性

示值誤差

1-80Ω/¨0.018 - 1.44Ω?cm < 0.2%

<0.01%

±1%

80-120Ω/¨1.44 - 2.16Ω?cm < 0.3%

120-300Ω/¨2.16 - 5.4Ω?cm < 0.5%

300-600Ω/¨5.4 - 10.8Ω?cm< 1%

外形尺寸

上探頭Ф20*145mm

下探頭Ф20*50mm

信號采集

采樣率:1500Sps

采樣個數(shù):512點/單次

采樣緩存:8級數(shù)據(jù)記錄緩存

數(shù)據(jù)傳輸:RS232 RS485CANTCP/IP

傳輸協(xié)議:Modbus Rtu/ Modbus Tcp 用戶自定義協(xié)議等

供電電源

24V/1A





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