PECVD-500A 等離子輝光滑軌式智能型PECVD
- 公司名稱 安徽貝意克設備技術有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號 PECVD-500A
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/8/1 14:21:03
- 訪問次數(shù) 1791
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| 產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 管式爐 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電子 |
PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關鍵電氣元件采用優(yōu)質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1、加熱系統(tǒng)
2、PE射頻電源
3、三路質子流量控制系統(tǒng)
4、低真空機組
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